真空腔室Ф246×228mm，304优质不锈钢
分子泵进口Pfeiffer分子泵
前级泵机械泵，北仪优成
真空规全量程真空规，上海玉川
溅射靶Ф2英寸永磁靶2支（含靶挡板）
溅射电源500W直流电源1台，300W射频电源1台
流量计20sccm/50sccm进口WARWICK
控制系统PLC+触摸屏智能控制系统1套
冷水机LX-300
前级阀GDC-25b电磁挡板阀1套
旁路阀GDC-25b电磁挡板阀1套
限流阀DN63mm一套
充气阀Φ6mm，电磁截止阀1套
放气阀Φ6mm，电磁截止阀1套
基片台Ф100mm，高度：60～120mm可调，旋转：0-20r/min可调，可加热至300℃
膜厚监控仪进口Inficon SQM-160单水冷探头，精度0.1Å（选配）
真空管路波纹管、真空管道等1套
设备机架机电一体化
预留接口CF35法兰一个
备件CF35铜垫圈及氟密封圈全套等
样品台通常指的是用于展示或测试物品的台面，广泛应用于实验室、展览、商店等场所。在实验室中，样品台可以用来放置化学试剂或生物样本，以便进行观察和实验。在展览中，样品台用于展示产品，以吸引观众的注意。商店中的样品台则用于展示商品，方便顾客查看和选择。
如果你有更具体的问题或者需要了解样品台的某个方面，请告诉我！
磁控溅射镀膜机是一种常用的薄膜制备设备，广泛应用于半导体、光电器件、光学涂层等领域。其主要特点包括：
1. **高沉积速率**：磁控溅射技术能够在较短时间内实现较高的薄膜沉积速率，适用于大规模生产。
2. **优良的膜层均匀性**：由于采用磁场增强了离子的密度，膜层的厚度均匀性和思想性得到了显著提升。
3. **良好的膜质**：磁控溅射沉积的膜层通常具有较高的致密性和优良的物理性质，如低内应力和高附着力。
4. **适用性广**：可以对多种材料进行沉积，包括金属、绝缘体和半导体等，适用范围广泛。
5. **可控性强**：通过调节气体压力、功率、目标材料和沉积时间等参数，可以控制膜层的厚度和组成。
6. **环境友好**：相比于其他镀膜技术，磁控溅射常用的气体（如氩气）对环境危害较小，过程相对环保。
7. **良好的应变控制**：磁控溅射可以在较低的温度下进行，这对于热敏感材料尤为重要，可以有效控制膜层的应变和缺陷。
8. **多功能性**：可通过不同的配置实现多种功能，如多层膜的沉积或不同材料的复合沉积。
这些特点使得磁控溅射镀膜机成为现代薄膜技术中重要的工具。
磁控溅射是一种广泛应用于薄膜沉积的技术，主要用于在基材上沉积金属、绝缘体或半导体材料。其功能和优势包括：
1. **量薄膜**：磁控溅射能够沉积出均匀、致密且质量优良的薄膜，适用于材料，包括金属、合金和氧化物等。
2. **可控性强**：通过调节溅射参数（如气压、电源功率、磁场强度等），可以控制薄膜的厚度和性质。
3. **低温沉积**：与其他沉积技术相比，磁控溅射通常可以在较低温度下进行，这对于热敏感材料尤为重要。
4. **多种材料的沉积**：可以在不同类型的基材上沉积材料，适用范围很广。
5. **高沉积速率**：由于利用了磁场增强离子化过程，磁控溅射的沉积速率通常较高，能够提高生产效率。
6. **良好的附着力**：沉积的薄膜与基材之间具有良好的附着力，适合用于多种应用。
7. **均匀性和厚度控制**：可以实现大面积的均匀沉积，适用于需要大尺寸薄膜的应用。
磁控溅射广泛应用于光电器件、太阳能电池、薄膜电路、保护涂层等领域。
溅射靶是一种用于薄膜沉积技术的设备，广泛应用于物理、材料科学和半导体工业。其主要功能包括：
1. **物质沉积**：通过溅射技术将靶材（如金属、合金或氧化物）中的原子或分子打出，并在基材表面形成薄膜。
2. **薄膜均匀性**：溅射靶能够在较大的面积上实现均匀的薄膜沉积，这对许多应用至关重要。
3. **控制膜厚度**：通过调整溅射时间、功率和气氛等参数，可以控制沉积膜的厚度。
4. **材料多样性**：能够处理多种不同类型的靶材，适用于不同的应用需求。
5. **低温沉积**：溅射过程通常在较低温度下进行，因此适合一些热敏材料的沉积。
6. **量膜**：溅射技术可制作高致密性、低缺陷的薄膜，适合高性能电子元件和光电器件等。
7. **大面积沉积**：有些溅射靶可以实现大面积的一次性沉积，适合工业化生产。
8. **功能薄膜制备**：可以用于制备功能性薄膜，如透明导电氧化物（TCO）、磁性薄膜及其他材料。
溅射靶的技术进步与材料科学的发展密切相关，对推动新材料的研究和应用起到了重要作用。
样品台通常用于科学实验、显微镜观察及工业测试等领域，其主要功能包括：
1. **支撑样品**：样品台提供一个稳定的表面，用于放置和支撑待观察或测试的样品。
2. **调整位置**：许多样品台具有可调节的机制，允许用户定位样品，以便于观察和分析。
3. **光学观察**：在显微镜等光学设备中，样品台能够在光束的照射下，让研究人员清晰观察样品的细节。
4. **温度控制**：一些样品台具有温控功能，可以在特定的温度条件下实验，适用于生物样品的观测。
5. **样品固定**：样品台上通常会配备夹具或黏合剂，以确保样品在观察或测试过程中移动。
6. **兼容性**：许多样品台设计为能够与不同类型的设备（如显微镜、光谱仪等）兼容，便于科学研究。
7. **数据记录**：某些样品台配备传感器，可以实时记录样品的变化，便于后续分析。
以上是样品台的一些主要功能，具体功能可能根据不同的应用领域和设备类型而有所不同。
样品台是一种用于放置和支撑样品的实验设备，广泛应用于多个领域。以下是样品台的主要适用范围：
1. **生物医学研究**：在显微镜下观察细胞、组织切片和其他生物样品。
2. **材料科学**：用于测试金属、聚合物、陶瓷等材料的物理和化学性质。
3. **化学分析**：在化学实验中放置反应瓶、试剂和其他化学物质。
4. **电子显微镜**：在电子显微镜中支撑和固定样品，以便进行高分辨率观察。
5. **光学显微镜**：在光学显微镜中观察细小结构、颗粒和晶体等。
6. **工业检测**：用于质量控制和检测产品样品，如电子元件、机械零件等。
不同类型的样品台（如移动样品台、平面样品台等）可以根据具体需求进行选择，以满足不同实验或检测的需求。
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