真空腔室Ф246×260mm,304优质不锈钢
分子泵国产FF-63/80分子泵
前级泵机械泵
真空规全量程真空规
蒸发源电阻蒸发源(兼容金属与**蒸发)3组,可切换使用
蒸发电源2000W直流蒸发电源1台,供3组蒸发源切换使用
控制系统PLC+触摸屏智能控制系统1套
冷水机LX-300
膜厚仪FTM-107A单探头
前级阀GDC-25b电磁挡板阀1套
充气阀Φ6mm,电磁截止阀1套
基片台可拆卸式60×60mm,具备水冷、旋转功能
真空管路波纹管、真空管道等1套
设备机架机电一体化
预留接口CF35一个
辅件备件CF35铜垫圈及氟密封圈全套等
热蒸发镀膜机是一种用于薄膜沉积的设备,广泛应用于光学、电子、材料科学等领域。其基本原理是通过加热材料,使其蒸发成气态,然后在基底表面凝结形成薄膜。热蒸发镀膜机通常由以下几个主要部分组成:
1. **真空腔体**:提供低压环境,以减少气体分子对蒸发材料和沉积薄膜的干扰。
2. **加热源**:通常使用电阻加热丝或电子束加热来加热蒸发材料,达到其蒸发温度。
3. **蒸发源**:放置待蒸发材料的容器,可以是铸坯、靶材等。
4. **基底夹持系统**:用于固定和加热待涂覆的基底,一般位于蒸发源的上方。
5. **监控系统**:用于监测沉积速度和膜厚,常用的技术有石英晶体振荡器或光学膜厚测量。
6. **冷却系统**:在一些情况下,可能需要冷却基底以改善膜的品质。
热蒸发镀膜机的优点包括沉积速度快、膜层均匀、膜的纯度高等,但也有局限性,如膜的附着力和应力问题。
在选购和使用热蒸发镀膜机时,需要根据具体的应用需求,例如膜材料、沉积速率、膜厚度及基底材料等制定相应的方案。
小型热蒸发镀膜机是一种用于薄膜沉积的设备,广泛应用于光学、电子、材料科学等领域。其主要功能包括:
1. **薄膜沉积**:能够在基材表面沉积金属、氧化物、氮化物等材料,以形成薄膜。
2. **控制膜厚**:通过调节蒸发时间和速率,可以控制薄膜的厚度,满足不同应用的需要。
3. **高真空环境**:通常配备真空系统,能够在高真空条件下进行蒸发,有效减少气体分子对薄膜的影响,提高膜层质量。
4. **多种材料兼容**:支持多种蒸发材料的使用,包括铝、银、金、硅等,适应不同的应用需求。
5. **均匀沉积**:通过合理设计蒸发源的布局,实现薄膜在基材上的均匀沉积。
6. **小型化设计**:体积小、重量轻,适合实验室、小规模生产等场合,便于搬运和操作。
7. **自动化控制**:一些设备配备了计算机控制系统,可以实现自动化操作,提率和重复性。
8. **多种基材兼容**:能够处理不同材料和形状的基材,如玻璃、塑料、陶瓷等。
总之,小型热蒸发镀膜机是一种 versatile 的设备,适用于科学研究和工业应用中的薄膜制备。

蒸发舟(或称为蒸发小舟)在化学和材料科学中主要用于薄膜的制备和物质的蒸发沉积。它的基本功能包括:
1. **材料蒸发**:蒸发舟可以将固态材料加热到其蒸发温度,使其转变为气态,通过真空或惰性气体环境将蒸发出的颗粒沉积在基材上。
2. **薄膜沉积**:通过控制蒸发过程可以在基材上形成均匀、薄的薄膜,这对于制作电子器件、光学涂层等重要。
3. **材料选择性**:蒸发舟可以用于多种材料(如金属、氧化物、聚合物等)的蒸发,适应不同的应用需求。
4. **控制**:通过调整加热功率和蒸发时间,可以控制沉积的厚度和质量。
5. **提高纯度**:在真空环境中蒸发,可以减少杂质及氧化反应,得到较高纯度的沉积材料。
6. **应用广泛**:蒸发舟被广泛应用于半导体制造、光学器件、太阳能电池、传感器等领域。
通过这些功能,蒸发舟在材料的制备和研究中起到了关键的作用。

**蒸发镀膜机是一种用于在基材上沉积**薄膜的设备,广泛应用于光电器件、显示器、太阳能电池等领域。其主要特点包括:
1. **能沉积**:**蒸发镀膜机能够地将**材料转化为气相并沉积在基材表面,形成均匀的薄膜。
2. **良好的膜质量**:设备通常采用的真空技术,能够有效去除杂质,从而获得量的**薄膜,具有良好的光学和电气性能。
3. **自动化程度高**:现代**蒸发镀膜机一般配备自动化控制系统,能够控制各个工艺参数,如温度、压力、沉积速率等,提升了生产效率和膜层一致性。
4. **适应性强**:该设备可以处理类型的**材料,包括小分子**物和高分子聚合物,适用于不同的应用需求。
5. **设备灵活性**:**蒸发镀膜机通常具有较高的配置灵活性,可以根据不同的工艺需求进行调整和改造,适应多种生产环境。
6. **节能环保**:部分**蒸发镀膜机采用节能设计,降低了能源消耗,同时在材料选择和生产过程中也考虑环保因素。
7. **适用于大面积沉积**:一些型号能够实现大面积基材的沉积,满足大尺寸器件的生产需求。
综上所述,**蒸发镀膜机凭借其、灵活和环保的特点,成为了现代电子和光电产业中的重要设备。

热蒸发镀膜机是一种用于物相沉积(PVD)技术的设备,主要功能包括:
1. **膜层制备**:通过加热蒸发材料,使其转变为气态,并在基材表面沉积形成薄膜。可以用于制备金属、绝缘材料或半导体薄膜。
2. **膜层厚度控制**:通过控制蒸发率和沉积时间,可以调节膜层的厚度。
3. **材料种类选择**:可以使用多种材料进行蒸发,如金、银、铝、氧化物等,以实现不同的光学或电气性能。
4. **真空环境控制**:在真空环境中进行镀膜,降低空气中的杂质对膜层质量的影响,提高膜层的致密性和均匀性。
5. **基材适应性**:可用于多种基材的镀膜,包括玻璃、塑料、金属等。
6. **功能性薄膜的制备**:可以制备不同功能的薄膜,如反射膜、抗反射膜、导电膜、光电膜等,广泛应用于光电子器件、显示器、传感器等领域。
7. **多层膜制备**:可实现多层膜的叠加,制造复杂结构以满足特定的光学或电气特性。
这些功能使得热蒸发镀膜机在材料科学、电子、光学等领域有着广泛的应用。
蒸发舟(或称蒸发皿)是一种用于化学实验和工业生产中的器具,主要用于蒸发溶剂和浓缩溶液。蒸发舟蒸发颗粒适用范围一般包括:
1. **化学实验**:用于蒸发液体,浓缩溶液,分离化学物质。
2. **生物实验**:在生物样品处理中,常用于蒸发或浓缩生物样品中的溶剂。
3. **制药工业**:用于制备药物浓缩液,去除溶剂,生产药品原料。
4. **食品工业**:在浓缩果汁、调味品等生产中使用。
5. **材料科学**:用于涂层材料的制备,以及材料的合成过程。
6. **环境监测**:在水质分析中,用于浓缩水样中的污染物。
7. **纳米材料制备**:在纳米颗粒的制备过程中,常用于蒸发溶液形成固态颗粒。
在不同的应用中,根据具体需要选用合适材质和规格的蒸发舟,以确保实验的准确性和安全性。
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