真空腔室L400×W440×H450mm，采用SUS304优质不锈钢
观察窗Φ100mm，含磁力挡板
屏蔽板不锈钢，便于拆卸清洁、更换
水冷蒸发电极8根组成4组
金属蒸发电源功率3kW
复合分子泵JTFB-650Z脂润滑分子泵，抽速650L/s
直联高速旋片式真空泵TRP-36，抽速9L/s
气动高真空插板阀DN150
前级阀/旁路阀DN40
放气阀φ10 电磁充气阀
数显复合真空计两低一高，含规管
波纹管、真空管道材质SUS304不锈钢
束源炉（也叫束源熔炉或束流反应堆）是一种利用粒子束（如电子束、离子束等）作为能量源进行材料加工或反应的设备。束源炉的工作原理是将高能粒子束聚焦到材料表面，通过粒子与材料的相互作用，产生局部加热、熔化或化学反应，从而实现特定的加工效果。
束源炉在某些工业应用中具有重要的作用，例如：
1. **金属加工**：利用电子束熔化金属材料，进行焊接、熔炼等。
2. **材料表面处理**：提高材料表面的硬度、耐磨性等性能。
3. **合成反应**：利用高能束流促进化学反应，实现新材料的合成。
束源炉的优点包括高精度、率，以及能够适应多种材料的加工需求。
电阻蒸镀机是一种常用于薄膜制作的设备，尤其在半导体、光电和光学材料的制造中广泛应用。其主要特点包括：
1. **高真空环境**：电阻蒸镀机通常在高真空条件下工作，这有助于控制薄膜的质量，减少气体污染。
2. **均匀性**：由于蒸发源的设计和定位，电阻蒸镀可以实现良好的膜厚均匀性，适合对膜层均匀性要求较高的应用。
3. **可控性**：通过调节电流和蒸发源与基板之间的距离，可以控制薄膜的生长速率和厚度，便于实现膜层的特定要求。
4. **适用材料广泛**：电阻蒸镀机能够蒸发多种金属和合金，如铝、铜、镍等，也可用于某些氧化物和其他材料的沉积。
5. **易于操作**：操作相对简单，用户可以通过计算机界面或控制面板快速设置和调整参数。
6. **可扩展性**：许多电阻蒸镀机设计上支持多种蒸发源，可以根据生产需求进行灵活配置，满足不同材料和工艺要求。
7. **经济效益**：相比其他蒸镀技术（如溅射或化学气相沉积），电阻蒸镀机的设备和运行成本相对较低，适合大规模生产。
8. **适应性强**：不仅适用于实验室研究，还可用于工业生产，适用于基材（如玻璃、塑料、硅片等）的薄膜沉积。
综上所述，电阻蒸镀机因其、灵活和经济性，成为许多领域中常用的薄膜沉积设备。
**蒸发镀膜机是一种用于将**材料（如**半导体、发光材料等）蒸发并沉积到基材上的设备。其主要功能包括：
1. **薄膜沉积**: 可以在基材表面均匀沉积**薄膜，常用于**电子设备如OLED显示器、太阳能电池等的制作。
2. **真空蒸发**: 在高真空环境下进行蒸发，避免了材料的氧化和污染，从而提高薄膜的质量。
3. **可控性**: 通过调整蒸发速率、温度和沉积时间，可以控制薄膜的厚度和均匀性。
4. **材料兼容性**: 能够处理多种**材料，包括聚合物、**小分子等，适用范围广泛。
5. **多层结构**: 可以实现多层镀膜，从而构建复杂的光电结构，满足不同器件的需求。
6. **批量生产能力**: 适合大规模生产，具备的生产能力。
7. **自动化控制**: 一些设备配备自动化系统，可以实现自动加载、监测和控制，提高生产效率和稳定性。
总的来说，**蒸发镀膜机在**光电器件的制造中发挥着至关重要的作用。
束源炉（也称束流源或粒子束源）是一种产生高能粒子束的装置，广泛应用于粒子物理、材料科学、医学和工业等领域。其主要功能包括：
1. **粒子束生成**：束源炉能够生成高能电子、质子或离子束，供给实验或应用需要。
2. **加速粒子**：通过电场和磁场加速粒子到所需的能量，从而实现对粒子的控制和操纵。
3. **材料研究**：在材料科学中，束源炉可用于对材料进行辐照实验，研究其在高能粒子辐照下的结构和性能变化。
4. **医学应用**：在领域，束源炉可以用于（如质子疗法）、放射等。
5. **显微成像**：利用电子束进行扫描隧道显微镜（STM）或透射电子显微镜（TEM）等高分辨率成像。
6. **同位素生产**：产生短寿命或特定同位素，以用于医学成像或。
7. **基础科学研究**：为基本粒子物理实验提供高能碰撞，帮助研究粒子特性和宇宙基本法则。
总之，束源炉是一个重要的研究和应用工具，为科学研究和技术发展提供了基础支持。
热蒸发镀膜机是一种用于薄膜沉积的设备，广泛应用于电子、光学、材料科学等领域。其主要特点包括：
1. **高纯度材料沉积**：通过热蒸发可以有效地沉积高纯度的薄膜，减少杂质的影响。
2. **良好的膜质量**：热蒸发镀膜技术能够形成均匀且致密的薄膜，具备较好的光学和电气性能。
3. **高沉积速率**：相较于其他镀膜技术，热蒸发具有较高的沉积速率，适合大规模生产。
4. **温度控制灵活**：设备通常配备精密的温度控制系统，可以根据不同材料的特性调整加热温度。
5. **适用广泛**：可以镀覆多种材料，如金属、合金、半导体及绝缘材料等，适用性强。
6. **工艺简单**：热蒸发镀膜工艺相对简单，易于操作和控制。
7. **真空环境**：通常在真空环境中进行，有效减少气体污染，提高膜层质量。
8. **设备投资较低**：相对于其他镀膜设备（如磁控溅射镀膜机），热蒸发镀膜机的设备成本相对较低。
9. **可控性强**：可以通过改变蒸发源的距离、功率和基片温度等来调节膜层的厚度和属性。
总之，热蒸发镀膜机是一种、灵活且经济的薄膜沉积设备，适合应用需求。
束源炉（也称为束流炉或电子束炉）是利用高能电子束在真空环境中进行加热和熔化材料的设备。其适用范围广泛，主要包括以下几个方面：
1. **金属冶炼与铸造**：束源炉可以用于高熔属的熔化，如钨、铼等稀有金属。此外，它也适用于铸造合金，特别是在需要控制合金成分时。
2. **材料加工**：束源炉常用于金属的热处理、表面处理和焊接等工艺。由于电子束的能量集中，可以实现高温熔化和快速冷却，提高材料的力学性能。
3. **电子元件制造**：在某些电子器件的制造过程中，束源炉可以用来处理半导体材料，以提高其性能和可靠性。
4. **真空镀膜**：束源炉可以用来蒸发和沉积薄膜材料，广泛应用于光学涂层、电子器件及功能性薄膜的制备。
5. **核能和领域**：束源炉在核材料的处理和器材料的加工中也发挥着重要作用，特别是在需要特殊材料或高温条件下的应用。
总的来说，束源炉因其、高温、的特点，在多个制造领域都得到了广泛应用。
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