温度范围零下180~550℃
变温速度0~10℃/min,升降温线性可控
温度分辨率及稳定性± 0.1℃
控温方式PID
温度传感器PT100
温度传感器数量2
致冷方式液氮(泵控制)
探针数量4(可增加)
探针材质紫铜镀金
测试通道4
载样台材质及尺寸银质,35*35mm(以实际尺寸为准)
冷热台尺寸160*150*29mm(以实际尺寸为准)
实验环境可抽真空,可充入保护气氛(氮气),配水冷接口
探针台卡盘(Prober Chuck)是一种用于半导体测试和研究的设备,主要应用于晶圆探针测试(wafer probing)过程中。其功能是将待测试的晶圆或芯片固定在稳定的位置,以便进行电气性能测试和测量。
探针台卡盘的设计通常考虑到以下几个方面:
1. **固定能力**:卡盘需要能够牢固固定不同尺寸和形状的晶圆,防止在测试过程中发生移动。
2. **热管理**:在测试过程中,卡盘可能会发热,因此其材料和设计需具备良好的热导性,以避免影响测试结果。
3. **平面度**:确保卡盘的表面平整,以便与探针对接,减少接触不良的可能性。
4. **兼容性**:许多卡盘都是设计为与探针台(prober)和测试设备兼容,便于集成使用。
5. **微调功能**:一些的探针台卡盘具备微调功能,可通过机械或电动方式微调晶圆的位置,以达到的探针接触效果。
探针台卡盘在集成电路(IC)制造、半导体器件测试以及材料科学研究等领域广泛应用。
光学探针台是一种用于微观尺度上测量和分析样品的仪器,主要应用于材料科学、半导体研究、纳米技术和生物医学等领域。其主要功能包括:
1. **高精度定位**:光学探针台配备高精度的运动系统,可以将探针或光学装置在样品表面上进行微米级甚至纳米级的定位,以实现准确的测量和操作。
2. **光学成像**:利用高分辨率的成像系统,可以对样品进行实时观察,提供样品表面的详细信息,帮助研究人员分析结构和特性。
3. **探针测量**:光学探针台通常配有不同类型的探针,可以进行电学、热学、力学等性质的测量,例如扫描探针显微镜(SPM)和原子力显微镜(AFM)等。
4. **环境控制**:许多光学探针台可以在控制的环境条件下进行实验(如温度、湿度、气氛等),以观察样品在不同条件下的表现。
5. **数据采集和分析**:通过集成的软件系统,光学探针台可以实时采集数据并进行分析,为研究人员提供有价值的信息。
6. **样品操作**:某些光学探针台还具备对样品进行处理和操作的能力,如刻蚀、沉积等,为材料制备提供。
7. **多功能集成**:现代光学探针台还可以与其他技术结合,如激光光谱、电子显微镜等,以实现更全面的分析与表征。
光学探针台因其和多功能性,成为研究和开发中的重要工具。

探针夹具是一种用于电子测量和测试的工具,广泛应用于半导体行业、电子元件测试和电路板维修等领域。它的主要特点包括:
1. **性**:探针夹具能够以较高的精度对接触点施加压力,以确保可靠的电气接触,从而提高测试数据的准确性。
2. **多功能性**:不同类型的探针夹具可以适配测试需求,包括不同类型的探针和接触方式,满足不同的测试标准。
3. **可靠性**:的设计和材料选择使得探针夹具在多次使用中保持稳定的性能,降低故障率,提高测试的可靠性。
4. **灵活性**:探针夹具通常具有可调节的结构,可以适应不同尺寸和形状的被测物体,增强了使用的灵活性。
5. **易于操作**:设计时考虑到人机工程学,使得操作者能够方便地进行装配、调节和操作,减少了使用时的复杂性。
6. **兼容性**:探针夹具可以与多种测试设备(如示波器、万用表等)兼容使用,提升测试系统的集成度。
7. **耐用性**:量的材料和精密的制造工艺确保了探针夹具的耐用性,在率使用的环境下仍能保持良好的性能。
8. **热稳定性**:一些探针夹具设计考虑到了热膨胀的影响,保证在温度变化下仍能提供稳定的测试性能。
总之,探针夹具在电子测试和测量中扮演着重要角色,通过其优良的设计和性能特征,能够显著提高测试效率和可靠性。

探针台卡盘(Probing Station Chuck)在半导体测试和研究中具有重要功能。它的主要功能包括:
1. **样品固定**:探针台卡盘能够稳固地固定待测试的半导体芯片或其他样本,确保在测试过程中样品不发生移动。
2. **定位**:通过高精度的微调机制,卡盘可以实现样品的定位,以便于探针与样品上的特**进行接触。
3. **温度控制**:一些的探针台卡盘配备了温度控制功能,可以在不同的温度条件下进行测试,以研究温度对电性能的影响。
4. **电气连接**:卡盘通常与探针阵列一起工作,通过探针与样品接触,实现电气信号的传输,允许测试电性能参数。
5. **兼容性**:探针台卡盘设计通常具有良好的兼容性,可以与不同类型和尺寸的样本以及探针头配合使用。
6. **环境控制**:一些探针台卡盘具备气氛控制功能,可以在特定气氛(如氮气或真空环境)中进行测试,以降低氧化和其他环境影响。
总的来说,探针台卡盘在半导体研发和制造过程中扮演着至关重要的角色,它不仅提高了测试的性,还为研究提供了的实验条件。

探针台(Probe Station)是一种用于半导体和微电子测试的设备,主要用于在实验室环境中对芯片或材料进行电学性能测试。它的主要功能包括:
1. **电气测试**:探针台配备有探针,可以直接接触到芯片上的电气接点,进行电性能测试,比如电流、电压、阻抗等。
2. **温度控制**:许多探针台具有温度控制功能,可以在高温或低温下进行测试,以评估材料或器件在不同温度下的特性。
3. **真空环境**:某些探针台可以在真空环境下操作,以减少空气对测试结果的影响,尤其是在某些敏感实验中。
4. **图像捕捉与分析**:探针台通常配备有显微镜,可以对芯片进行观察,帮助技术人员准确定位探针和分析测试结果。
5. **自动化测试**:一些探针台能够与计算机系统配合,实现自动化操作和数据采集,提高测试效率和准确性。
6. **多功能扩展**:探针台可以与其他设备(如信号发生器、示波器等)联动,进行更复杂的电气测试和分析。
探针台广泛应用于半导体制造、材料科学、电子工程等领域,是研究和开发新型电子元件的重要工具。
探针夹具主要用于电子元件测试和测量,其适用范围包括:
1. **半导体测试**:用于芯片、集成电路(IC)等电子元器件的电气特性测试。
2. **电路板测试**:适用于PCB(印刷电路板)的测试,能够帮助检测PCB上的连接和功能。
3. **研发和实验**:在电子产品的研发阶段,探针夹具可以用于快速原型测试和实验验证。
4. **质量控制**:在生产过程中,探针夹具可用于自动化测试以确保产品质量。
5. **维修与故障排查**:在维修过程中,探针夹具可以用来快速测试疑似故障的元器件。
探针夹具的灵活性和性使其成为电子行业广泛使用的重要工具。
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