真空腔室L400×W440×H450mm,采用SUS304优质不锈钢
观察窗Φ100mm,含磁力挡板
屏蔽板不锈钢,便于拆卸清洁、更换
水冷蒸发电极8根组成4组
金属蒸发电源功率3kW
复合分子泵JTFB-650Z脂润滑分子泵,抽速650L/s
直联高速旋片式真空泵TRP-36,抽速9L/s
气动高真空插板阀DN150
前级阀/旁路阀DN40
放气阀φ10 电磁充气阀
数显复合真空计两低一高,含规管
波纹管、真空管道材质SUS304不锈钢
电阻蒸镀机是一种用于薄膜沉积的设备,广泛应用于半导体、光电、 optics 等领域。它的基本工作原理是通过电阻加热将材料(通常是金属或合金)加热到蒸发温度,使其从固态转变为气态,然后冷却后在基材上形成薄膜。
以下是电阻蒸镀机的一些关键组成部分和特点:
1. **电阻加热源**:通过电阻丝或钨丝加热蒸发源,相关温度能够控制材料的蒸发速率。
2. **真空室**:在真空环境下进行蒸镀可以减少气体分子的干扰,从而提高薄膜的质量和纯度。
3. **蒸发源**:放置待蒸发材料的地方,常用的材料有铝、金、银等。
4. **基材夹持系统**:用于固定待涂覆的物体,确保薄膜均匀性。
5. **厚度监测器**:通常使用晶体监测器(如QCM)来实时监测薄膜的厚度,确保达到预定的沉积量。
6. **冷却系统**:在蒸镀过程中,冷却系统可以防止设备过热,保证设备和材料的稳定性。
电阻蒸镀机具有操作简便、控制准确和沉积均匀等优点,适合大面积和高均匀性薄膜的制备。由于其热沉积的特性,相比其他蒸镀方式(例如电子束蒸镀),更适合处理低熔属和合金。
钙钛矿镀膜机是一种用于制备钙钛矿材料薄膜的设备,广泛应用于光伏、光电和其他相关领域。以下是钙钛矿镀膜机的一些主要特点:
1. **能**:钙钛矿镀膜机能够快速制备量的钙钛矿薄膜,提升生产效率。
2. **均匀性**:设备设计确保薄膜厚度均匀,能够满足高性能器件的要求。
3. **多种制备方法**:钙钛矿镀膜机通常支持多种薄膜制备技术,如溶液法、蒸发法和喷涂法等,提供灵活的工艺选择。
4. **温控系统**:设备配有的温控系统,以确保在镀膜过程中温度稳定,避免材料性质受到影响。
5. **气氛控制**:部分钙钛矿镀膜机可以在惰性气体或特定气氛下工作,减少氧化和其他不利反应。
6. **自动化程度高**:许多钙钛矿镀膜机具有高度自动化功能,减少人工干预,提高操作安全性和性。
7. **易于集成**:设备通常设计便于与其他测试和后处理设备集成,形成完整的生产线。
8. **可扩展性**:根据生产需求,可以灵活扩展规模,以满足不同量产要求。
这些特点使钙钛矿镀膜机在现代材料研究和工业生产中成为重要的设备之一。

束源炉是一种用于核聚变研究和实验的设备,其主要特点包括:
1. **高温高压环境**:束源炉能够创造较高的温度和压力,以促进核聚变反应的发生。
2. **等离子体控制**:通过强磁场或其他手段,束源炉能够有效控制和维持等离子体的稳定性,这是实现聚变的关键。
3. **粒子束注入**:束源炉通常使用高速粒子束注入技术,将粒子直接注入等离子体中,以提高反应的效率以及能量的密度。
4. **实验灵活性**:束源炉的设计允许对不同的聚变燃料(如、氚等)进行实验,这为研究聚变反应提供了灵活性。
5. **能量输出**:如果成功实现聚变反应,束源炉有潜力成为一种的能量来源,对未来的能源解决方案具有重要意义。
6. **研究应用**:束源炉不仅用于基础科学研究,还可应用于医学、材料科学及核能开发等多个领域。
总体而言,束源炉是一种的科学仪器,为核聚变技术的发展提供了重要的实验平台。

蒸发舟是用于蒸发物质的一种设备,广泛应用于薄膜制备、材料合成和真空蒸发等领域。在蒸发过程中,蒸发舟在高温下加热,使得固体颗粒转变为气态,从而形成薄膜或其他材料。
蒸发舟蒸发颗粒的特点主要包括以下几个方面:
1. **粒度均匀性**:蒸发舟通常能够提供比较均匀的加热,从而使得蒸发出来的颗粒在粒度上保持一致,有助于提高材料的性能。
2. **高纯度**:在真空条件下进行蒸发,能够有效减少杂质的引入,从而提高所得到的薄膜或颗粒的纯度。
3. **可控性强**:通过调整温度、压力和蒸发时间,可以控制颗粒的蒸发速率和终的结构特性。
4. **形成薄膜的能力**:蒸发过程中,颗粒在冷却后会凝结形成薄膜,具有良好的附着性和均匀性。
5. **适用范围广**:可适用于多种材料,例如金属、氧化物、氮化物等,应用于电子器件、光学涂层等领域。
6. **重现性好**:蒸发过程中条件可重复,且易于实现规模化生产,能够满足工业应用的需求。
综上所述,蒸发舟蒸发颗粒具备均匀性、高纯度、可控性强及适用范围广等优点,使其在材料科学和工程领域中具有重要的应用价值。

电阻蒸镀机是一种用于薄膜沉积的设备,广泛应用于电子、光电、材料科学等领域。它的主要功能包括:
1. **薄膜沉积**:通过电阻加热将材料蒸发,然后在基材上形成薄膜。
2. **高精度控制**:可以控制沉积速率和膜厚,使其适应不同需求的薄膜特性。
3. **气氛控制**:在真空或特定气氛下进行蒸镀,以提高薄膜的质量和性能。
4. **多材料蒸镀**:可同时或不同时间段内蒸发多种材料,以实现多层薄膜的沉积。
5. **适用于多种材料**:能够处理多种金属、合金及一些陶瓷材料。
6. **高均匀性**:通过优化设备设计,沉积的薄膜一般具有较高的均匀性和一致性。
7. **温度监控**:设备通常配备温度监控系统,以确保基材和蒸发材料的温度适宜。
电阻蒸镀机因其、以及能够制作量薄膜的优点,成为研究和工业应用中的重要工具。
电阻蒸镀机是一种广泛应用于薄膜沉积的设备,主要适用于以下几个领域:
1. **半导体制造**:用于沉积金属薄膜,如铝、铜等,用于集成电路和其他电子元器件的生产。
2. **光电材料**:在太阳能电池、显示器和LED等领域,电阻蒸镀机可以用于沉积透明导电氧化物(如ITO)以及其他功能性薄膜。
3. **光学薄膜**:用于制造光学涂层,如反射镜、滤光片和抗反射涂层等。
4. **装饰性涂层**:在珠宝、手表以及消费电子产品中,用于涂覆金属层,以提高外观和耐腐蚀性能。
5. **传感器和电极**:在传感器和电极的制作中,电阻蒸镀能够提供高均匀性和良好的附着性。
电阻蒸镀机因其优良的沉积质量、较高的均匀性和对薄膜厚度的控制能力,在这些领域得到了广泛应用。
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