温度范围零下180~550℃
变温速度0~10℃/min，升降温线性可控
温度分辨率及稳定性± 0.1℃
控温方式PID
温度传感器PT100
温度传感器数量2
致冷方式液氮（泵控制）
探针数量4（可增加）
探针材质紫铜镀金
测试通道4
载样台材质及尺寸银质，35*35mm（以实际尺寸为准）
冷热台尺寸160*150*29mm（以实际尺寸为准）
实验环境可抽真空，可充入保护气氛（氮气），配水冷接口
真空探针台是一种用于微电子器件测试和特性分析的设备，广泛应用于半导体研究和研发领域。它的主要功能是将探针对准被测试样品，同时在真空环境下进行的电气测试。
真空探针台的工作原理是通过在高真空状态下，将探针与芯片或其他样品直接接触，以测量其电气特性。在真空环境中，能够减少空气干扰，降低氧化和污染的风险，从而提供更准确和重复的测试结果。
主要用途包括：
1. **半导体器件的特性测试**：如 MOSFET、二极管等。
2. **材料研究**：在材料科学中，对特定材料的电性和热性进行研究。
3. **微纳米技术的研发**：在 MEMS（微电机械系统）和纳米尺度器件的开发和测试中。
真空探针台通常配备高精度的定位系统，以确保探针能够准确地对准待测样品，此外，有些设备还可与其他测试仪器（如示波器、源测量单元等）集成，以实现更复杂的测试需求。
探针座位移平台是一种用于电子测试和测量的设备，主要功能包括：
1. **定位**：能够地移动探针到*的测试点，确保测量的准确性。
2. **多轴控制**：通常具有多个自由度（如X、Y、Z轴），可以在三维空间中灵活移动，以适应不同尺寸和布局的测试样品。
3. **自动化测试**：支持自动化操作，提高测试效率，减少人为误差。
4. **扫描功能**：可以进行扫描操作，逐点测量，以获取样品的电性能数据。
5. **与测试仪器集成**：可与测试仪器（如示波器、LCR表等）连接，进行综合测试与数据分析。
6. **数据记录与分析**：记录测试过程中的数据，并可进行后续分析，以便于评估样品性能。
7. **灵活适应性**：可根据不同的测试需求和样品特性，调整探针的位置和压力，以确保接触。
探针座位移平台在半导体、微电子、材料科学等领域的测试和研究中具有重要的应用价值。
同轴真空馈通件是一种用于信号传输的元件，主要的功能包括：
1. **信号传输**：用于在真空环境中传输或微波信号，确保信号的有效传递。
2. **隔离真空和常规环境**：通过密封设计，能够在真空环境下工作，避免外界环境对设备的影响，保护信号传输的稳定性。
3. **低损耗**：设计优化以减少信号在传输过程中的损耗，确保信号的质量。
4. **相位稳定性**：在不同温度和真空条件下，保持信号的相位稳定性。
5. **适应性**：可以和不同类型的同轴电缆和连接器兼容，适应多种不同的应用场合。
6. **性能**：能在率下正常工作，通常用于、通讯、测试设备等设备中。
同轴真空馈通件广泛应用于科学实验、微波技术、卫星通讯、粒子加速器等领域，能够满足信号在特殊环境下的传输需求。
高低温真空探针台是一种用于材料和半导体器件测试的设备，能够在较端温度和真空环境下进行电气特性测量。其主要功能包括：
1. **温度控制**：能够在广泛的温度范围内（通常从低于零度到几百度摄氏）控制样品的温度，便于研究材料在不同温度下的性能变化。
2. **真空环境**：提供低压真空环境，以减少气体分子对测量结果的影响，尤其是在材料表面或界面反应的研究中。
3. **电气测试**：可以连接测试仪器（如示波器、源测量单元等）进行电流、电压等电学特性的测量。
4. **多种探针配置**：可以灵活配置探针的数量和类型，以适应不同的实验需求，如单点探测或多点测量。
5. **样品放置**：支持多种类型的样品放置方式，如晶圆、薄膜、纳米结构等，以开展多样化的实验。
6. **数据采集与分析**：配合相关软件，可以进行实时数据采集和后续分析，帮助科研人员深入理解材料性能。
高低温真空探针台广泛应用于半导体、物理、材料科学等领域的研究和开发中，尤其是在新材料的开发和半导体器件的性能测试方面具有重要意义。
探针夹具是一种用于电子测试和信号测量的设备，它的主要功能包括：
1. **信号接触**：探针夹具可以地与电路板上的测试点接触，从而获取信号或电源。这对于电路功能测试和调试至关重要。
2. **高精度定位**：探针夹具通常具有高精度的定位功能，可以确保探针准确接触到*的测试点，提高测试的可靠性和准确性。
3. **自动化测试**：随着自动化测试技术的发展，探针夹具常常与自动测试设备（ATE）配合使用，实现的自动化测试，提高测试效率和一致性。
4. **适应性强**：探针夹具通常设计为可以适应不同规格的PCB（印刷电路板），支持多种类型的测试点，如焊盘、引脚等。
5. **减少干扰**：良好的探针夹具设计可以减少在测试过程中可能引入的干扰，提高测量的准确性。
6. **多通道测试**：一些的探针夹具可以支持多通道同时测试，提高测试的效率，特别是在批量生产测试中具有明显的优势。
总的来说，探针夹具在电子产品的研发、测试和生产过程中起到了重要的作用，能够有效提高测试的效率和准确性。
微型高低温真空探针台主要用于材料科学、半导体器件、纳米技术等领域的研究和测试，其适用范围包括但不限于以下几个方面：
1. **半导体器件测试**：用于测量半导体材料和器件在高低温环境下的电学性质。
2. **材料分析**：能够分析不同材料在较端温度和真空条件下的性能变化，例如导电性、热导性等。
3. **纳米材料研究**：用于研究纳米材料在不同温度和环境下的行为，适合纳米电子学研究。
4. **物理和化学实验**：在物理和化学实验中，对样品进行高低温和真空下的测试和观察。
5. **生物材料测试**：能够测试生物材料在较端环境下的稳定性和性能变化。
6. **仪器研发**：在新型仪器和设备研发过程中，对材料的性能进行高低温测试。
综上所述，微型高低温真空探针台是一种多功能的实验设备，适用于多种研究领域，特别是在要求控制温度和气氛条件的实验中显得尤为重要。
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