真空腔室Ф246×228mm，304优质不锈钢
分子泵进口Pfeiffer分子泵
前级泵机械泵，北仪优成
真空规全量程真空规，上海玉川
溅射靶Ф2英寸永磁靶2支（含靶挡板）
溅射电源500W直流电源1台，300W射频电源1台
流量计20sccm/50sccm进口WARWICK
控制系统PLC+触摸屏智能控制系统1套
冷水机LX-300
前级阀GDC-25b电磁挡板阀1套
旁路阀GDC-25b电磁挡板阀1套
限流阀DN63mm一套
充气阀Φ6mm，电磁截止阀1套
放气阀Φ6mm，电磁截止阀1套
基片台Ф100mm，高度：60～120mm可调，旋转：0-20r/min可调，可加热至300℃
膜厚监控仪进口Inficon SQM-160单水冷探头，精度0.1Å（选配）
真空管路波纹管、真空管道等1套
设备机架机电一体化
预留接口CF35法兰一个
备件CF35铜垫圈及氟密封圈全套等
样品台通常指的是用于展示或测试物品的台面，广泛应用于实验室、展览、商店等场所。在实验室中，样品台可以用来放置化学试剂或生物样本，以便进行观察和实验。在展览中，样品台用于展示产品，以吸引观众的注意。商店中的样品台则用于展示商品，方便顾客查看和选择。
如果你有更具体的问题或者需要了解样品台的某个方面，请告诉我！
靶材通常是在物理、化学和材料科学等领域中使用的一种材料，主要具有以下功能：
1. **靶向作用**：在粒子物理实验中，靶材可用于吸收入射粒子并产生可观测的反应，如在粒子加速器中用作靶。
2. **材料沉积**：在薄膜沉积技术中，靶材用于将材料蒸发或溅射到基底上，形成薄膜。这在电子器件、光学涂层等应用中重要。
3. **反应介质**：在化学反应中，靶材可以作为反应物，产生相应的化学反应或物理变化。
4. **能量传输**：靶材能够接收入射粒子的能量并将其转化为其他形式的能量，或以其他方式传递能量。
5. **示踪和检测**：在放射性同位素研究中，靶材可以用作示踪剂，帮助检测和分析现象。
总之，靶材在科学研究和工业应用中扮演着重要的角色，其具体功能根据应用场景的不同而有所差异。
PVD（物相沉积）镀膜机是一种用于在基材表面沉积薄膜的设备。其主要功能包括：
1. **薄膜沉积**：通过物相沉积方法，PVD镀膜机可以在基材表面沉积金属、合金、氧化物、氮化物等薄膜材料，用于改善表面性能。
2. **表面改性**：通过镀膜，可以提高基材的耐磨性、耐腐蚀性、抗氧化性等，延长材料的使用寿命。
3. **功能涂层**：PVD镀膜可以赋予材料特定的功能，例如光学性能（反射、透射）、导电性能、热导性等，适用于电子、光学等行业。
4. **装饰效果**：在一些应用中，PVD镀膜机可用于实现装饰性涂层，提高产品的美观性和附加值。
5. **薄膜**：PVD技术能够在较低的温度下沉积量的薄膜，适合用于一些热敏材料的表面处理。
6. **环境友好**：相比于化学镀膜方法，PVD过程通常不需要使用有毒化学物质，减小了对环境的影响。
7. **可控性强**：PVD镀膜机可以控制膜厚、沉积速率等参数，实现高重复性和一致性的薄膜性能。
总之，PVD镀膜机在现代制造业中发挥着重要作用，广泛应用于电子、光学、汽车、等多个领域。
离子溅射仪是一种广泛应用于材料科学、半导体制造和表面分析等领域的设备，其主要特点包括：
1. **高精度**：离子溅射仪能够在原子或分子层级上进行物质的去除和沉积，具有的控制精度，适用于微米和纳米级别的加工。
2. **多功能性**：该仪器可用于薄膜的沉积、表面清洗、材料分析等多种用途，适应性强。
3. **层次控制**：可以实现对材料沉积厚度的控制，可以逐层沉积不同材料，适合制备多层膜结构。
4. **较强的适应性**：离子源与靶材的组合可以根据需要进行调整，使得该仪器可以处理多种不同类型的材料。
5. **真空环境**：离子溅射在真空环境中进行，有助于减少气体分子对沉积过程的干扰，提高沉积质量。
6. **可调节能量**：离子源可以调节离子的能量，从而控制溅射过程中的粒子能量，有利于改善沉积膜的性质。
7. **低温沉积**：相较于传统的热沉积方法，离子溅射在较低温度下即可进行，能够减少热敏感材料的损伤。
8. **表面改性**：通过选择合适的离子种类和能量，可以对材料表面进行改性，如提高表面硬度或改变表面化学性质。
总的来说，离子溅射仪因其高精度、多功能和良好的适应性，在现代材料科学和工程中发挥着重要作用。
PVD（物相沉积）镀膜机是一种用于在基材表面沉积薄膜的设备，广泛应用于电子、光学、工具制造和装饰等领域。其主要特点包括：
1. **薄膜质量高**：PVD工艺能够在较低的温度下沉积量、高致密度的薄膜，具有良好的附着力和均匀性。
2. **材料多样性**：PVD技术可以镀金属、合金和陶瓷材料，能够满足不同应用需求。
3. **环保性**：PVD过程通常不涉及有害化学物质，相比于化学气相沉积（CVD）等工艺更为环保。
4. **沉积速率可调**：通过调整工艺参数，可以控制薄膜的沉积速率，从而满足不同应用的需求。
5. **设备占用空间小**：PVD镀膜机相对较小，适合在空间有限的环境中使用。
6. **自动化程度高**：现代PVD设备通常具有较高的自动化水平，可以实现连续生产，提高生产效率。
7. **良好的耐磨性和耐腐蚀性**：沉积的薄膜通常具有的耐磨性和耐腐蚀性，适用于工业应用。
8. **适应性强**：可以处理不同形状和尺寸的基材，从小型零件到大型工件均可适应。
这些特点使得PVD镀膜机在多个领域得以广泛应用，并逐渐成为现代材料表面处理的重要设备。
小型磁控溅射镀膜机是一种常见的薄膜沉积设备，广泛应用于多个领域。其适用范围主要包括：
1. **材料科学**：用于研究新材料的特性和薄膜的性能，可以制备金属、合金和合成材料的薄膜。
2. **电子器件**：在半导体、光电器件等领域，常用于制造电极、保护膜和介电层等。
3. **光学 coating**：用于光学元件的镀膜，如镜头、光学滤光片、防反射涂层等。
4. **太阳能电池**：用于镀膜太阳能电池的材料，提升其光电转换效率。
5. **传感器**：在传感器的制造中用于沉积感应膜，提升其性能和稳定性。
6. **饰品与装饰品**：用于金属表面的装饰性镀膜，提高美观及防腐蚀性能。
7. **生物医学**：在生物材料和器械的表面改性中，改善表面特性，促进生物相容性。
8. **实验室研究**：小型设备适合于科研实验室进行材料合成与性质测试。
小型磁控溅射镀膜机因其操作灵活、适用性广泛，受到许多行业和科研机构的欢迎。
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