真空腔室L400×W440×H450mm，采用SUS304优质不锈钢
观察窗Φ100mm，含磁力挡板
屏蔽板不锈钢，便于拆卸清洁、更换
水冷蒸发电极8根组成4组
金属蒸发电源功率3kW
复合分子泵JTFB-650Z脂润滑分子泵，抽速650L/s
直联高速旋片式真空泵TRP-36，抽速9L/s
气动高真空插板阀DN150
前级阀/旁路阀DN40
放气阀φ10 电磁充气阀
数显复合真空计两低一高，含规管
波纹管、真空管道材质SUS304不锈钢
电阻蒸镀机是一种用于薄膜沉积的设备，广泛应用于半导体、光电、 optics 等领域。它的基本工作原理是通过电阻加热将材料（通常是金属或合金）加热到蒸发温度，使其从固态转变为气态，然后冷却后在基材上形成薄膜。
以下是电阻蒸镀机的一些关键组成部分和特点：
1. **电阻加热源**：通过电阻丝或钨丝加热蒸发源，相关温度能够控制材料的蒸发速率。
2. **真空室**：在真空环境下进行蒸镀可以减少气体分子的干扰，从而提高薄膜的质量和纯度。
3. **蒸发源**：放置待蒸发材料的地方，常用的材料有铝、金、银等。
4. **基材夹持系统**：用于固定待涂覆的物体，确保薄膜均匀性。
5. **厚度监测器**：通常使用晶体监测器（如QCM）来实时监测薄膜的厚度，确保达到预定的沉积量。
6. **冷却系统**：在蒸镀过程中，冷却系统可以防止设备过热，保证设备和材料的稳定性。
电阻蒸镀机具有操作简便、控制准确和沉积均匀等优点，适合大面积和高均匀性薄膜的制备。由于其热沉积的特性，相比其他蒸镀方式（例如电子束蒸镀），更适合处理低熔属和合金。
束源炉（也称束流源或粒子束源）是一种产生高能粒子束的装置，广泛应用于粒子物理、材料科学、医学和工业等领域。其主要功能包括：
1. **粒子束生成**：束源炉能够生成高能电子、质子或离子束，供给实验或应用需要。
2. **加速粒子**：通过电场和磁场加速粒子到所需的能量，从而实现对粒子的控制和操纵。
3. **材料研究**：在材料科学中，束源炉可用于对材料进行辐照实验，研究其在高能粒子辐照下的结构和性能变化。
4. **医学应用**：在领域，束源炉可以用于（如质子疗法）、放射等。
5. **显微成像**：利用电子束进行扫描隧道显微镜（STM）或透射电子显微镜（TEM）等高分辨率成像。
6. **同位素生产**：产生短寿命或特定同位素，以用于医学成像或。
7. **基础科学研究**：为基本粒子物理实验提供高能碰撞，帮助研究粒子特性和宇宙基本法则。
总之，束源炉是一个重要的研究和应用工具，为科学研究和技术发展提供了基础支持。
热蒸镀是一种常用的金属涂层技术，主要用于提供良好的耐腐蚀性和表面硬度。它的特点包括：
1. **优良的附着力**：热蒸镀形成的涂层与基材之间有良好的结合力，通常能够承受较大的机械应力和环境变化。
2. **均匀的涂层厚度**：热蒸镀过程可以实现较为均匀的涂层厚度，能够覆盖复杂形状的工件。
3. **良好的防腐蚀性**：涂层材料（如锌、铝等）能够有效防止基材氧化和腐蚀，延长产品的使用寿命。
4. **耐磨性和耐热性**：热蒸镀后形成的涂层通常具有较高的硬度和耐磨性，适合用于高磨损环境；部分涂层还具有良好的耐热性。
5. **成本效益**：相比于其他涂层技术（如电镀、喷涂等），热蒸镀在某些情况下能提供更低的生产成本和更高的生产效率。
6. **环境友好**：某些热蒸镀材料相对环保，且无污染物的排放。
7. **适用范围广**：可以用于金属材料，如钢铁、铝合金等，广泛应用于建筑、汽车、等行业。
综上所述，热蒸镀因其出色的性能和适用性而在工业领域得到了广泛应用。
热蒸发手套箱一体机是一种用于材料制备和表面处理的设备，广泛应用于材料科学、半导体、光电器件等领域。其特点包括：
1. **一体化设计**：将热蒸发设备与手套箱结合为一体，有效减少了样品在转移过程中的污染风险。
2. **高纯度环境**：手套箱内部通常可维持在低湿度和惰性气体氛围（如氮气或氩气），有助于防止样品氧化和水分侵入。
3. **控制**：设备通常配备温度、压力和蒸发速率等多种参数的实时监控和调节功能，以确保材料沉积的性。
4. **易于操作**：手套箱设计便于操作人员进行样品的准备、放置和观察，操作方便且安全。
5. **多功能性**：除了热蒸发功能，部分设备还具备其他处理功能，如光刻、刻蚀等，提升了实验的灵活性。
6. **样品多样性**：能够支持多种材料的蒸发沉积，包括金属、氧化物、聚合物等，适用范围广。
7. **提高实验效率**：集成化设计减少了样品处理时间，提高了实验的整体效率。
8. **低污染风险**：由于手套的封闭性，有效避免了外部污染源对样品的影响，保证实验结果的可靠性。
这些特点使得热蒸发手套箱一体机在高精度材料研究和开发中成为一个重要的工具。
**蒸发镀膜机是一种用于将**材料（如**半导体、发光材料等）蒸发并沉积到基材上的设备。其主要功能包括：
1. **薄膜沉积**: 可以在基材表面均匀沉积**薄膜，常用于**电子设备如OLED显示器、太阳能电池等的制作。
2. **真空蒸发**: 在高真空环境下进行蒸发，避免了材料的氧化和污染，从而提高薄膜的质量。
3. **可控性**: 通过调整蒸发速率、温度和沉积时间，可以控制薄膜的厚度和均匀性。
4. **材料兼容性**: 能够处理多种**材料，包括聚合物、**小分子等，适用范围广泛。
5. **多层结构**: 可以实现多层镀膜，从而构建复杂的光电结构，满足不同器件的需求。
6. **批量生产能力**: 适合大规模生产，具备的生产能力。
7. **自动化控制**: 一些设备配备自动化系统，可以实现自动加载、监测和控制，提高生产效率和稳定性。
总的来说，**蒸发镀膜机在**光电器件的制造中发挥着至关重要的作用。
热蒸发手套箱一体机主要用于以下几个方面：
1. **材料科学研究**：用于薄膜材料的沉积，广泛应用于半导体、光电子及太阳能电池等领域。
2. **光学涂层**：可用于光学元件的镀膜，提高其反射率和透光率。
3. **表面处理**：适用于金属、塑料及玻璃等材料的表面修饰，改善其性能和外观。
4. **化学实验**：在无尘和惰性气体环境中进行化学反应和合成，避免样品氧化或污染。
5. **生物医学**：在生物材料制备和细胞培养等方面，也可以利用该设备进行相关实验。
6. **制造**：在、及高科技产品的制造中，确保高纯度和高性能的材料沉积。
热蒸发手套箱一体机通过创造一个控制的环境，提高了实验的性和安全性，适用于研究和工业应用。
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