真空腔室L400×W440×H450mm,采用SUS304优质不锈钢
观察窗Φ100mm,含磁力挡板
屏蔽板不锈钢,便于拆卸清洁、更换
水冷蒸发电极8根组成4组
金属蒸发电源功率3kW
复合分子泵JTFB-650Z脂润滑分子泵,抽速650L/s
直联高速旋片式真空泵TRP-36,抽速9L/s
气动高真空插板阀DN150
前级阀/旁路阀DN40
放气阀φ10 电磁充气阀
数显复合真空计两低一高,含规管
波纹管、真空管道材质SUS304不锈钢
蒸发舟是一种用于物相沉积(PVD)或蒸发沉积的设备,主要用于将固体材料蒸发并沉积到基片上,形成薄膜。蒸发舟通常由耐高温材料制成,能够承受高温下的操作。
在蒸发过程中的固体颗粒会由于加热而转变为蒸气,随着温度的升高,颗粒会在瞬间蒸发并向基片表面移动。经过冷却,蒸气会在基片表面凝结,形成所需的薄膜结构。
蒸发舟的使用广泛应用于半导体、光电、光学薄膜以及许多其他材料的沉积工艺中。因为其较高的沉积速率和良好的薄膜均匀性,蒸发舟成为量薄膜制造的重要工具。
束源炉(也称束流源或粒子束源)是一种产生高能粒子束的装置,广泛应用于粒子物理、材料科学、医学和工业等领域。其主要功能包括:
1. **粒子束生成**:束源炉能够生成高能电子、质子或离子束,供给实验或应用需要。
2. **加速粒子**:通过电场和磁场加速粒子到所需的能量,从而实现对粒子的控制和操纵。
3. **材料研究**:在材料科学中,束源炉可用于对材料进行辐照实验,研究其在高能粒子辐照下的结构和性能变化。
4. **医学应用**:在领域,束源炉可以用于(如质子疗法)、放射等。
5. **显微成像**:利用电子束进行扫描隧道显微镜(STM)或透射电子显微镜(TEM)等高分辨率成像。
6. **同位素生产**:产生短寿命或特定同位素,以用于医学成像或。
7. **基础科学研究**:为基本粒子物理实验提供高能碰撞,帮助研究粒子特性和宇宙基本法则。
总之,束源炉是一个重要的研究和应用工具,为科学研究和技术发展提供了基础支持。
钙钛矿镀膜机是一种用于制备钙钛矿材料薄膜的设备,广泛应用于光伏、光电和其他相关领域。以下是钙钛矿镀膜机的一些主要特点:
1. **能**:钙钛矿镀膜机能够快速制备量的钙钛矿薄膜,提升生产效率。
2. **均匀性**:设备设计确保薄膜厚度均匀,能够满足高性能器件的要求。
3. **多种制备方法**:钙钛矿镀膜机通常支持多种薄膜制备技术,如溶液法、蒸发法和喷涂法等,提供灵活的工艺选择。
4. **温控系统**:设备配有的温控系统,以确保在镀膜过程中温度稳定,避免材料性质受到影响。
5. **气氛控制**:部分钙钛矿镀膜机可以在惰性气体或特定气氛下工作,减少氧化和其他不利反应。
6. **自动化程度高**:许多钙钛矿镀膜机具有高度自动化功能,减少人工干预,提高操作安全性和性。
7. **易于集成**:设备通常设计便于与其他测试和后处理设备集成,形成完整的生产线。
8. **可扩展性**:根据生产需求,可以灵活扩展规模,以满足不同量产要求。
这些特点使钙钛矿镀膜机在现代材料研究和工业生产中成为重要的设备之一。
热蒸发镀膜机是一种用于薄膜沉积的设备,广泛应用于材料科学、光电器件制造、表面改性等领域。其主要功能包括:
1. **薄膜沉积**:通过热蒸发过程将材料(如金属、半导体或绝缘体)加热温,使其蒸发并在基材表面沉积形成薄膜。
2. **膜层控制**:可控制沉积速率和膜层厚度,以满足不同应用的要求。
3. **真空环境**:在高真空条件下操作,减少气体分子对蒸发材料的干扰,从而提高膜层质量。
4. **材料多样性**:能够使用多种不同的蒸发材料,满足不同材料系统的需求。
5. **均匀性**:能够实现均匀的膜层沉积,适用于大面积基材的镀膜。
6. **兼容性**:可以与其他镀膜技术(如溅射、化学气相沉积等)结合使用,以实现更复杂的薄膜结构。
7. **自动化与监控**:许多现代热蒸发镀膜机配备了自动化控制系统和监测仪器,方便实时监控沉积过程。
通过这些功能,热蒸发镀膜机在电子器件、光学元件、传感器等领域中扮演着重要角色。
蒸发舟是一种用于薄膜沉积和蒸发材料的装置,广泛应用于材料科学、半导体制造以及光学薄膜的生产中。它的主要功能和特点包括:
1. **材料蒸发**:蒸发舟通过加热将固体材料加热到其熔点或蒸发点,使其转变为气态,随后沉积到基材上形成薄膜。
2. **薄膜均匀性**:蒸发舟可以控制蒸发速率和温度,从而在基材上形成均匀厚度的薄膜,这对于光学性能和电学性能至关重要。
3. **控制**:通过调整蒸发舟的加热方式(如电阻加热、激光加热等),可以实现对蒸发速率和沉积材料的控制。
4. **多种材料**:可以使用材料,如金属、氧化物和聚合物,进行蒸发沉积,以满足不同应用的需求。
5. **真空环境**:通常在真空环境中进行操作,以减少氧化和污染,提高薄膜的质量和性能。
6. **应用广泛**:用于光电器件、太阳能电池、传感器等多个领域,通过制备高性能薄膜来提升器件性能。
蒸发舟在薄膜技术中的重要性使其成为现代材料科学和工程中的一种关键工具。
束源炉(也称为束流炉或电子束炉)是利用高能电子束在真空环境中进行加热和熔化材料的设备。其适用范围广泛,主要包括以下几个方面:
1. **金属冶炼与铸造**:束源炉可以用于高熔属的熔化,如钨、铼等稀有金属。此外,它也适用于铸造合金,特别是在需要控制合金成分时。
2. **材料加工**:束源炉常用于金属的热处理、表面处理和焊接等工艺。由于电子束的能量集中,可以实现高温熔化和快速冷却,提高材料的力学性能。
3. **电子元件制造**:在某些电子器件的制造过程中,束源炉可以用来处理半导体材料,以提高其性能和可靠性。
4. **真空镀膜**:束源炉可以用来蒸发和沉积薄膜材料,广泛应用于光学涂层、电子器件及功能性薄膜的制备。
5. **核能和领域**:束源炉在核材料的处理和器材料的加工中也发挥着重要作用,特别是在需要特殊材料或高温条件下的应用。
总的来说,束源炉因其、高温、的特点,在多个制造领域都得到了广泛应用。
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