温度范围零下180~550℃
变温速度0~10℃/min,升降温线性可控
温度分辨率及稳定性± 0.1℃
控温方式PID
温度传感器PT100
温度传感器数量2
致冷方式液氮(泵控制)
探针数量4(可增加)
探针材质紫铜镀金
测试通道4
载样台材质及尺寸银质,35*35mm(以实际尺寸为准)
冷热台尺寸160*150*29mm(以实际尺寸为准)
实验环境可抽真空,可充入保护气氛(氮气),配水冷接口
探针座位移平台是一种精密设备,通常用于半导体测试、微电子制造和材料科学等领域。其主要功能是通过高精度的位移控制,确保探针与被测样品之间的正确接触,从而进行电气特性测试或其他类型的非破坏性测试。
这种平台通常具备以下特点:
1. **高精度定位**:能够在微米或亚微米级别进行定位,使得测试结果更加准确。
2. **多维度移动**:一般支持X、Y、Z三个方向的移动,以便对样品进行全面的探测。
3. **自动化功能**:一些现代的探针座平台可能配备自动化控制系统,能够实现自动对焦、自动接触以及数据记录等功能,提高工作效率。
4. **兼容性**:能够与多种类型的探针头和测试设备兼容,以满足不同测试需求。
5. **用户友好的界面**:通常配备图形用户界面(GUI),方便操作人员进行设置和监控测试过程。
探针座位移平台在半导体器件的研发和制造过程中起着关键作用,帮助工程师评估器件的电气性能,进行质量控制和故障分析。
真空探针台是一种用于微电子和材料科学领域的高精度测试设备,主要用于对半导体wafer、材料样品的电气特性进行测量。其特点主要包括:
1. **高真空环境**:真空探针台能够在高真空条件下工作,减少气体分子对测试过程的干扰,提高测量的准确性和重复性。
2. **高精度定位**:该设备通常配备高精度的定位系统,可以对准探针与样品的接触点,确保测量的准确性。
3. **多样化探针选择**:真空探针台支持多种类型的探针,可根据不同的实验需求进行更换,适应不同的测试任务。
4. **温度控制功能**:许多真空探针台配备了温度控制系统,能够在特定温度下进行测量,对于研究材料的温度依赖特性尤为重要。
5. **高灵敏度测量**:在真空条件下,探针台能够进行更高灵敏度的电气测量,适合于低信号的测量任务。
6. **兼容性强**:真空探针台通常可以与多种测试设备协同使用,如网络分析仪、示波器等,满足多种测试需求。
7. **自动化程度**:现代真空探针台往往具备自动化控制系统,能够实现自动对焦、扫描和数据采集,提高实验效率。
8. **适用范围广泛**:真空探针台不仅可用于半导体行业,还可广泛应用于材料测试、纳米技术、生物传感器等多个领域。
总体而言,真空探针台是进行精细化电气测试的重要工具,其特性使其在科研和工业应用中具有的地位。

同轴真空馈通件是一种用于电子设备的连接器,主要用于在真空环境中传输信号。其特点包括:
1. **优良的信号传输性能**:同轴结构能够有效地减少信号的损耗和反射,保证信号的质量。
2. **良好的屏蔽性能**:同轴设计可提供较好的电磁干扰屏蔽,防止外部干扰信号影响传输质量。
3. **耐高真空特性**:专门设计用于在真空环境中工作,不易受到气体和水分的影响,适用于真空设备,如粒子加速器和真空腔等。
4. **高功率承受能力**:能够承受较高的功率水平,适合用于高功率射频应用。
5. **机械稳定性**:结构坚固,能够经受一定的机械应力和温度变化。
6. **便于安装和维护**:设计通常考虑到易于安装和维护,便于与其他设备连接。
7. **多种接口类型**:可根据需要提供不同类型的连接器接口,以适应应用场景。
以上这些特点使得同轴真空馈通件在通信、射频设备及实验物理等领域具有广泛的应用前景。

光学探针台是一种高精度的实验设备,主要用于表征材料的光学性能和研究微观结构。以下是光学探针台的主要特点:
1. **高精度定位**:光学探针台通常具备高精度的运动系统,能够在微米或纳米级别上进行样品定位,以确保实验结果的准确性。
2. **多功能性**:很多光学探针台可以支持多种测量方法,如反射、透射、荧光及拉曼光谱等,适用于不同的研究需求。
3. **环境控制**:有些光学探针台配备有温度、湿度、气氛等环境控制系统,能够在特定条件下进行实验,适应不同材料的测试要求。
4. **光学元件的集成**:探针台通常集成有高性能的光学元件,如透镜、滤光片和光源等,以提高光学测量的灵敏度和信噪比。
5. **图像采集与分析**:许多光学探针台具有图像采集功能,可以实时观察样品表面、形貌及其他特征,并与测量数据结合进行分析。
6. **模块化设计**:一些探针台是模块化的,可以根据实验需要进行升级和扩展,适应不同的研究需求。
7. **用户友好的操作界面**:现代的光学探针台通常配备友好的软件界面,使得用户可以轻松设置实验参数,进行数据采集和分析。
8. **适用性广**:广泛应用于半导体、材料科学、生物医学等领域,在基础研究和工业应用中都具有重要价值。
光学探针台因其高度和多功能性,被广泛用于科研与工业领域的光学测量与分析任务。

高低温真空探针台是一种用于材料和半导体器件测试的设备,能够在较端温度和真空环境下进行电气特性测量。其主要功能包括:
1. **温度控制**:能够在广泛的温度范围内(通常从低于零度到几百度摄氏)控制样品的温度,便于研究材料在不同温度下的性能变化。
2. **真空环境**:提供低压真空环境,以减少气体分子对测量结果的影响,尤其是在材料表面或界面反应的研究中。
3. **电气测试**:可以连接测试仪器(如示波器、源测量单元等)进行电流、电压等电学特性的测量。
4. **多种探针配置**:可以灵活配置探针的数量和类型,以适应不同的实验需求,如单点探测或多点测量。
5. **样品放置**:支持多种类型的样品放置方式,如晶圆、薄膜、纳米结构等,以开展多样化的实验。
6. **数据采集与分析**:配合相关软件,可以进行实时数据采集和后续分析,帮助科研人员深入理解材料性能。
高低温真空探针台广泛应用于半导体、物理、材料科学等领域的研究和开发中,尤其是在新材料的开发和半导体器件的性能测试方面具有重要意义。
高低温真空探针台是一种专门用于材料和器件测试的设备,广泛应用于以下领域:
1. **半导体研究**:用于测试半导体材料、器件(如晶体管、二极管等)的电性能和热性能,尤其是在较端温度条件下的表现。
2. **纳米材料**:适合对纳米材料进行电学性能测试,研究其在不同温度和真空条件下的特性。
3. **物理学和材料科学研究**:可用于基本物理实验,如测量材料的电导率、热导率等,以及研究材料在高低温下的相变行为。
4. **太阳能电池**:用于太阳能电池材料的测试,以评估其在不同温度和环境条件下的效率和稳定性。
5. **传感器及MEMS器件**:对传感器和微机电系统(MEMS)的性能进行评估,确保其在实际应用中的可靠性。
6. **实验室研发**:研究人员在新材料开发过程中,可以使用探针台进行电学和热学测试。
总之,高低温真空探针台适用于多种需要在高低温及真空条件下进行测试的高科技领域。
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