温度范围零下180~550℃
变温速度0~10℃/min,升降温线性可控
温度分辨率及稳定性± 0.1℃
控温方式PID
温度传感器PT100
温度传感器数量2
致冷方式液氮(泵控制)
探针数量4(可增加)
探针材质紫铜镀金
测试通道4
载样台材质及尺寸银质,35*35mm(以实际尺寸为准)
冷热台尺寸160*150*29mm(以实际尺寸为准)
实验环境可抽真空,可充入保护气氛(氮气),配水冷接口
真空探针台是一种用于微电子器件测试和特性分析的设备,广泛应用于半导体研究和研发领域。它的主要功能是将探针对准被测试样品,同时在真空环境下进行的电气测试。
真空探针台的工作原理是通过在高真空状态下,将探针与芯片或其他样品直接接触,以测量其电气特性。在真空环境中,能够减少空气干扰,降低氧化和污染的风险,从而提供更准确和重复的测试结果。
主要用途包括:
1. **半导体器件的特性测试**:如 MOSFET、二极管等。
2. **材料研究**:在材料科学中,对特定材料的电性和热性进行研究。
3. **微纳米技术的研发**:在 MEMS(微电机械系统)和纳米尺度器件的开发和测试中。
真空探针台通常配备高精度的定位系统,以确保探针能够准确地对准待测样品,此外,有些设备还可与其他测试仪器(如示波器、源测量单元等)集成,以实现更复杂的测试需求。
微型高低温真空探针台是一种重要的实验设备,广泛应用于半导体物理、材料科学和纳米技术等领域。其主要功能包括:
1. **温度控制**:能够在较低(如-196°C,液氮温度)到较高(如500°C或更高)温度范围内控制样品的温度。这对于研究材料在不同温度下的性能和行为至关重要。
2. **真空环境**:探针台可以在真空或低气压环境中工作,以减少氧化、污染和其他外部因素对实验结果的影响。这对于敏感材料或纳米结构的测试尤为重要。
3. **电学测试**:探针台通常配备高精度的探针,可以用于对样品进行电性测试,如电导率、霍尔效应等。这些测量可以帮助研究材料的电学特性。
4. **表面和界面分析**:可以研究薄膜、界面和材料表面的电性和热性特性,获取关于材料结构和性能的重要信息。
5. **自动化和集成**:现代探针台常配备有自动化系统,可以实现高通量测试,提高实验效率。此外,它们往往可以与其他表征技术(如AFM、SEM等)集成使用,以获得更全面的材料性能分析。
6. **多功能性**:一些微型高低温真空探针台提供多种功能,可以进行不同类型的测量(如电学、热学、光学等),满足科研人员的多样化需求。
这种设备的综合功能使其成为微电子器件、**材料和其它高科技领域实验研究中的工具。
探针台卡盘(Probing Station Chuck)在半导体测试和研究中具有重要功能。它的主要功能包括:
1. **样品固定**:探针台卡盘能够稳固地固定待测试的半导体芯片或其他样本,确保在测试过程中样品不发生移动。
2. **定位**:通过高精度的微调机制,卡盘可以实现样品的定位,以便于探针与样品上的特**进行接触。
3. **温度控制**:一些的探针台卡盘配备了温度控制功能,可以在不同的温度条件下进行测试,以研究温度对电性能的影响。
4. **电气连接**:卡盘通常与探针阵列一起工作,通过探针与样品接触,实现电气信号的传输,允许测试电性能参数。
5. **兼容性**:探针台卡盘设计通常具有良好的兼容性,可以与不同类型和尺寸的样本以及探针头配合使用。
6. **环境控制**:一些探针台卡盘具备气氛控制功能,可以在特定气氛(如氮气或真空环境)中进行测试,以降低氧化和其他环境影响。
总的来说,探针台卡盘在半导体研发和制造过程中扮演着至关重要的角色,它不仅提高了测试的性,还为研究提供了的实验条件。
探针台卡盘(probe station chuck)是用于半导体测试和材料研究的重要设备,其特点包括:
1. **高精度**:探针台卡盘通常具有高精度的定位能力,能够确保探针与测试样品之间的对接,从而提高测试的准确性。
2. **温控能力**:许多探针台卡盘配备有温度控制系统,可以在升温或降温的情况下进行测试,帮助研究人员观察材料在不同温度下的性能变化。
3. **真空功能**:某些探针台卡盘具有真空夹紧功能,可以确保样品在测试过程中固定稳定,减少外部干扰。
4. **兼容性强**:探针台卡盘通常设计为兼容多种类型的测试探针和测试仪器,方便用户进行不同类型的实验。
5. **灵活性**:探针台卡盘可以适应不同尺寸和形状的样品,提供多种夹持方式,以满足不同测试需求。
6. **性能**:针对信号测试的需求,一些探针台卡盘具备良好的性能,能够有效降低信号衰减和反射。
7. **用户友好的操作界面**:现代探针台常配备直观的控制系统,便于用户对设备进行调整和设置。
8. **耐用性**:探针台卡盘通常采用量材料制造,以确保设备的耐久性和稳定性,在复杂环境下也能长期使用。
综合以上特点,探针台卡盘在半导体测试、材料研究等领域中扮演着关键角色,较大地推动了相关技术的发展。
高低温真空探针台是一种用于材料和半导体器件测试的设备,能够在较端温度和真空环境下进行电气特性测量。其主要功能包括:
1. **温度控制**:能够在广泛的温度范围内(通常从低于零度到几百度摄氏)控制样品的温度,便于研究材料在不同温度下的性能变化。
2. **真空环境**:提供低压真空环境,以减少气体分子对测量结果的影响,尤其是在材料表面或界面反应的研究中。
3. **电气测试**:可以连接测试仪器(如示波器、源测量单元等)进行电流、电压等电学特性的测量。
4. **多种探针配置**:可以灵活配置探针的数量和类型,以适应不同的实验需求,如单点探测或多点测量。
5. **样品放置**:支持多种类型的样品放置方式,如晶圆、薄膜、纳米结构等,以开展多样化的实验。
6. **数据采集与分析**:配合相关软件,可以进行实时数据采集和后续分析,帮助科研人员深入理解材料性能。
高低温真空探针台广泛应用于半导体、物理、材料科学等领域的研究和开发中,尤其是在新材料的开发和半导体器件的性能测试方面具有重要意义。
同轴真空馈通件广泛应用于许多领域,主要包括:
1. **微波通信**:在卫星通信、无线传输等领域中,用于传输信号。
2. **射频功率放大**:在射频(RF)放大器中,帮助传输和采集高功率信号。
3. **天线系统**:在天线和发射器中,用于信号传输。
4. **高能物理实验**:在粒子加速器等实验设备中,用于传输信号。
5. **实验室设备**:在实验室中用于设备的连接和信号传输。
6. **系统**:用于和民用系统中进行信号传递。
7. **设备**:在某些医学成像和设备中也会用到。
同轴真空馈通件的设计需要考虑频率范围、功率处理能力、插入损耗以及物理尺寸等因素,以确保其在特定应用中的性能和可靠性。
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