温度范围零下180~550℃
变温速度0~10℃/min,升降温线性可控
温度分辨率及稳定性± 0.1℃
控温方式PID
温度传感器PT100
温度传感器数量2
致冷方式液氮(泵控制)
探针数量4(可增加)
探针材质紫铜镀金
测试通道4
载样台材质及尺寸银质,35*35mm(以实际尺寸为准)
冷热台尺寸160*150*29mm(以实际尺寸为准)
实验环境可抽真空,可充入保护气氛(氮气),配水冷接口
真空探针台(Vacuum Probe Station)是一种用于半导体材料和器件测试的实验设备。它在高真空环境下操作,可以有效降低外部污染和氧化,确保测试结果的准确性。真空探针台通常配备有多组针头探针,用于电气测试、信号传输和表面分析等。
真空探针台的主要应用包括:
1. **半导体器件测试**:用于测试晶体管、二极管、集成电路等器件的电性能。
2. **材料研究**:可用于研究新型半导体材料、纳米材料等的特性。
3. **微纳米技术**:在微米和纳米尺度上进行电学、光学等性能测试。
4. **失效率分析**:通过在真空环境中测试,分析器件的失效率和可靠性。
真空探针台的工作原理是将样品放置在真空环境中,通过探针直接接触样品的电极进行测量。通常配备有精密的定位系统,以保证探针与样品的准确接触。
在使用真空探针台时,操作人员需要对设备进行良好的维护和校准,以确保测试结果的准确性和重复性。
探针座位移平台是一种用于电子测试和测量的设备,主要功能包括:
1. **定位**:能够地移动探针到*的测试点,确保测量的准确性。
2. **多轴控制**:通常具有多个自由度(如X、Y、Z轴),可以在三维空间中灵活移动,以适应不同尺寸和布局的测试样品。
3. **自动化测试**:支持自动化操作,提高测试效率,减少人为误差。
4. **扫描功能**:可以进行扫描操作,逐点测量,以获取样品的电性能数据。
5. **与测试仪器集成**:可与测试仪器(如示波器、LCR表等)连接,进行综合测试与数据分析。
6. **数据记录与分析**:记录测试过程中的数据,并可进行后续分析,以便于评估样品性能。
7. **灵活适应性**:可根据不同的测试需求和样品特性,调整探针的位置和压力,以确保接触。
探针座位移平台在半导体、微电子、材料科学等领域的测试和研究中具有重要的应用价值。

真空探针台是一种用于微电子和材料科学领域的高精度测试设备,主要用于对半导体wafer、材料样品的电气特性进行测量。其特点主要包括:
1. **高真空环境**:真空探针台能够在高真空条件下工作,减少气体分子对测试过程的干扰,提高测量的准确性和重复性。
2. **高精度定位**:该设备通常配备高精度的定位系统,可以对准探针与样品的接触点,确保测量的准确性。
3. **多样化探针选择**:真空探针台支持多种类型的探针,可根据不同的实验需求进行更换,适应不同的测试任务。
4. **温度控制功能**:许多真空探针台配备了温度控制系统,能够在特定温度下进行测量,对于研究材料的温度依赖特性尤为重要。
5. **高灵敏度测量**:在真空条件下,探针台能够进行更高灵敏度的电气测量,适合于低信号的测量任务。
6. **兼容性强**:真空探针台通常可以与多种测试设备协同使用,如网络分析仪、示波器等,满足多种测试需求。
7. **自动化程度**:现代真空探针台往往具备自动化控制系统,能够实现自动对焦、扫描和数据采集,提高实验效率。
8. **适用范围广泛**:真空探针台不仅可用于半导体行业,还可广泛应用于材料测试、纳米技术、生物传感器等多个领域。
总体而言,真空探针台是进行精细化电气测试的重要工具,其特性使其在科研和工业应用中具有的地位。

微型高低温真空探针台是一种重要的实验设备,广泛应用于半导体物理、材料科学和纳米技术等领域。其主要功能包括:
1. **温度控制**:能够在较低(如-196°C,液氮温度)到较高(如500°C或更高)温度范围内控制样品的温度。这对于研究材料在不同温度下的性能和行为至关重要。
2. **真空环境**:探针台可以在真空或低气压环境中工作,以减少氧化、污染和其他外部因素对实验结果的影响。这对于敏感材料或纳米结构的测试尤为重要。
3. **电学测试**:探针台通常配备高精度的探针,可以用于对样品进行电性测试,如电导率、霍尔效应等。这些测量可以帮助研究材料的电学特性。
4. **表面和界面分析**:可以研究薄膜、界面和材料表面的电性和热性特性,获取关于材料结构和性能的重要信息。
5. **自动化和集成**:现代探针台常配备有自动化系统,可以实现高通量测试,提高实验效率。此外,它们往往可以与其他表征技术(如AFM、SEM等)集成使用,以获得更全面的材料性能分析。
6. **多功能性**:一些微型高低温真空探针台提供多种功能,可以进行不同类型的测量(如电学、热学、光学等),满足科研人员的多样化需求。
这种设备的综合功能使其成为微电子器件、**材料和其它高科技领域实验研究中的工具。

光学探针台是一种用于微观尺度上测量和分析样品的仪器,主要应用于材料科学、半导体研究、纳米技术和生物医学等领域。其主要功能包括:
1. **高精度定位**:光学探针台配备高精度的运动系统,可以将探针或光学装置在样品表面上进行微米级甚至纳米级的定位,以实现准确的测量和操作。
2. **光学成像**:利用高分辨率的成像系统,可以对样品进行实时观察,提供样品表面的详细信息,帮助研究人员分析结构和特性。
3. **探针测量**:光学探针台通常配有不同类型的探针,可以进行电学、热学、力学等性质的测量,例如扫描探针显微镜(SPM)和原子力显微镜(AFM)等。
4. **环境控制**:许多光学探针台可以在控制的环境条件下进行实验(如温度、湿度、气氛等),以观察样品在不同条件下的表现。
5. **数据采集和分析**:通过集成的软件系统,光学探针台可以实时采集数据并进行分析,为研究人员提供有价值的信息。
6. **样品操作**:某些光学探针台还具备对样品进行处理和操作的能力,如刻蚀、沉积等,为材料制备提供。
7. **多功能集成**:现代光学探针台还可以与其他技术结合,如激光光谱、电子显微镜等,以实现更全面的分析与表征。
光学探针台因其和多功能性,成为研究和开发中的重要工具。
微型高低温真空探针台主要用于材料科学、半导体器件、纳米技术等领域的研究和测试,其适用范围包括但不限于以下几个方面:
1. **半导体器件测试**:用于测量半导体材料和器件在高低温环境下的电学性质。
2. **材料分析**:能够分析不同材料在较端温度和真空条件下的性能变化,例如导电性、热导性等。
3. **纳米材料研究**:用于研究纳米材料在不同温度和环境下的行为,适合纳米电子学研究。
4. **物理和化学实验**:在物理和化学实验中,对样品进行高低温和真空下的测试和观察。
5. **生物材料测试**:能够测试生物材料在较端环境下的稳定性和性能变化。
6. **仪器研发**:在新型仪器和设备研发过程中,对材料的性能进行高低温测试。
综上所述,微型高低温真空探针台是一种多功能的实验设备,适用于多种研究领域,特别是在要求控制温度和气氛条件的实验中显得尤为重要。
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