真空腔室Ф246×260mm,304优质不锈钢
分子泵国产FF-63/80分子泵
前级泵机械泵
真空规全量程真空规
蒸发源电阻蒸发源(兼容金属与**蒸发)3组,可切换使用
蒸发电源2000W直流蒸发电源1台,供3组蒸发源切换使用
控制系统PLC+触摸屏智能控制系统1套
冷水机LX-300
膜厚仪FTM-107A单探头
前级阀GDC-25b电磁挡板阀1套
充气阀Φ6mm,电磁截止阀1套
基片台可拆卸式60×60mm,具备水冷、旋转功能
真空管路波纹管、真空管道等1套
设备机架机电一体化
预留接口CF35一个
辅件备件CF35铜垫圈及氟密封圈全套等
**蒸发镀膜机是一种用于材料薄膜沉积的设备,尤其是在**材料的薄膜生产中。它广泛应用于**电子(如**发光二极管OLED、太阳能电池等)、光电材料和其他相关领域。
其工作原理主要包括以下几个步骤:
1. **材料准备**:将待蒸发的**材料放置在蒸发源中,通常是一个加热的坩埚或舟。
2. **加热蒸发**:通过加热,使得**材料达到其蒸发温度,转变为气相。
3. **沉积过程**:蒸发出的**分子在真空环境中向基板表面移动,并在基板上沉积形成薄膜。真空环境可以减少气体分子的碰撞,提高沉积效率和膜的质量。
4. **薄膜生长**:控制沉积速率和温度,以获得所需厚度和均匀性。
几种关键参数在**蒸发镀膜中重要,包括真空度、沉积速率、基板温度和材料选择等。这些参数的优化可以显著提高薄膜的性能和均匀性。
**蒸发镀膜机的优点包括:
- 适用于多种**材料的沉积。
- 可以实现量、均匀的薄膜。
- 适合于大面积沉积。
在购买或使用此类设备时,需考虑生产需求、预算、设备的易用性以及维修服务等因素。
热蒸发镀膜机是一种用于物相沉积(PVD)技术的设备,主要功能包括:
1. **膜层制备**:通过加热蒸发材料,使其转变为气态,并在基材表面沉积形成薄膜。可以用于制备金属、绝缘材料或半导体薄膜。
2. **膜层厚度控制**:通过控制蒸发率和沉积时间,可以调节膜层的厚度。
3. **材料种类选择**:可以使用多种材料进行蒸发,如金、银、铝、氧化物等,以实现不同的光学或电气性能。
4. **真空环境控制**:在真空环境中进行镀膜,降低空气中的杂质对膜层质量的影响,提高膜层的致密性和均匀性。
5. **基材适应性**:可用于多种基材的镀膜,包括玻璃、塑料、金属等。
6. **功能性薄膜的制备**:可以制备不同功能的薄膜,如反射膜、抗反射膜、导电膜、光电膜等,广泛应用于光电子器件、显示器、传感器等领域。
7. **多层膜制备**:可实现多层膜的叠加,制造复杂结构以满足特定的光学或电气特性。
这些功能使得热蒸发镀膜机在材料科学、电子、光学等领域有着广泛的应用。

热蒸发镀膜机是一种常用于薄膜沉积的设备,其主要特点包括:
1. **高纯度镀膜**:由于采用高温加热源,能有效蒸发材料,沉积出的薄膜通常具有较高的纯度。
2. **良好的均匀性**:通过合理设计源与基片之间的距离,可以实现较均匀的膜层厚度。
3. **适用范围广**:可以用于多种材料的沉积,包括金属、半导体及一些绝缘材料。
4. **沉积速率可调**:通过调节加热温度和蒸发源的功率,可以实现不同沉积速率,满足不同应用需求。
5. **操作简便**:热蒸发镀膜机的操作相对简单,适合实验室及工业生产使用。
6. **适配性强**:可以与其他设备如真空系统、光学测厚仪等配合,提升沉积效果和膜层质量。
7. **成本效益高**:相较于其他镀膜技术,热蒸发镀膜机的设备投资和运行成本通常较低。
8. **膜层控制能力强**:可以通过调整蒸发时间和材料供应来实现膜厚的控制。
总的来说,热蒸发镀膜机以其优良的膜层质量和较为简单的操作,在科研和工业应用中广泛使用。

蒸发舟是一种常用于材料科学和薄膜制备的设备,特别是在物相沉积(PVD)技术中。蒸发舟的主要作用是通过加热将固态材料转化为气态,以实现薄膜的沉积。蒸发舟蒸发颗粒的特点主要包括以下几个方面:
1. **均匀性**:蒸发过程中,颗粒的蒸发速率较为均匀,能够在基底上形成均匀的薄膜。
2. **可控性**:通过调节加热温度和加热时间,可以控制蒸发速率,从而调节薄膜的厚度和组成。
3. **材料兼容性**:蒸发舟可以用于多种不同材料的蒸发,如金属、氧化物和高分子材料等,适应性较强。
4. **颗粒尺寸**:蒸发颗粒的尺寸通常较小,有助于加快蒸发速度,提升薄膜的沉积效率。
5. **高纯度**:蒸发舟中使用的材料一般要求高纯度,以确保终薄膜的性能和质量。
6. **热稳定性**:蒸发舟本身需要具备良好的热稳定性,以承受高温而不发生变形或熔化。
7. **气氛控制**:蒸发实验通常在真空或特定气氛中进行,以避免反应杂质的影响,确保颗粒的质量。
这些特点使得蒸发舟在真空蒸发和其他沉积技术中得到了广泛应用。

小型热蒸发镀膜机是一种常见的实验室设备,主要用于材料表面的薄膜沉积,其特点包括:
1. **小巧便携**:设计紧凑,适合实验室、研究机构及小规模生产等场所使用,便于搬运和安装。
2. **操作简便**:通常配备直观的操作界面和控制系统,便于用户操作和调节参数。
3. **蒸发效率高**:利用热蒸发原理,能够在较短时间内实现率的镀膜过程。
4. **适用材料广泛**:可以用于多种金属及某些非金属材料的蒸发镀膜,适应性强。
5. **膜层质量好**:能够沉积出均匀、致密的薄膜,满足高要求的光学、电气性能。
6. **真空环境**:配置高真空系统,可以有效防止污染,提高膜层纯度。
7. **温度控制**:具备的温度控制功能,能够调节蒸发源的温度,以优化膜层性能。
8. **成本相对较低**:相比于大型镀膜设备,投资成本较低,适合预算有限的单位。
9. **多样化的附加功能**:部分设备还可以选配如厚度监测、靶材更换等功能,以提高应用的灵活性。
10. **节能环保**:现代设备在设计上往往考虑能耗,运行过程中的能量利用效率较高。
这些特点使得小型热蒸发镀膜机在科学研究、新材料开发和小规模生产中拥有广泛的应用前景。
桌面型热蒸发镀膜仪是一种广泛应用于材料科学、电子、光电和薄膜技术等领域的设备。其主要适用范围包括:
1. **光学镀膜**:用于制作抗反射涂层、增透膜、反射镜等光学元件。
2. **电子器件**:可用于制备半导体器件中的金属层、绝缘层和其他功能膜,比如太阳能电池、发光二极管(LED)等。
3. **硬涂层**:在工具、模具等表面镀膜,以提高其耐磨性、抗腐蚀性和整体性能。
4. **传感器**:在气体传感器、湿度传感器等的开发中,利用镀膜技术提高传感器的灵敏度和选择性。
5. **薄膜材料研究**:用于基础研究,探索材料的薄膜生长行为及其物理性质。
6. **实验室应用**:适合小批量生产和实验室研究,可以在实验室环境中进行多种不同材料的蒸发镀膜。
7. **装饰镀膜**:用于生产装饰性薄膜,如金属光泽涂层等。
桌面型热蒸发镀膜仪以其操作简便、成本相对较低,适合科研、教学和小规模生产等多种场合。
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