温度范围零下180~550℃
变温速度0~10℃/min，升降温线性可控
温度分辨率及稳定性± 0.1℃
控温方式PID
温度传感器PT100
温度传感器数量2
致冷方式液氮（泵控制）
探针数量4（可增加）
探针材质紫铜镀金
测试通道4
载样台材质及尺寸银质，35*35mm（以实际尺寸为准）
冷热台尺寸160*150*29mm（以实际尺寸为准）
实验环境可抽真空，可充入保护气氛（氮气），配水冷接口
探针台卡盘（Prober Chuck）是一种用于半导体测试和研究的设备，主要应用于晶圆探针测试（wafer probing）过程中。其功能是将待测试的晶圆或芯片固定在稳定的位置，以便进行电气性能测试和测量。
探针台卡盘的设计通常考虑到以下几个方面：
1. **固定能力**：卡盘需要能够牢固固定不同尺寸和形状的晶圆，防止在测试过程中发生移动。
2. **热管理**：在测试过程中，卡盘可能会发热，因此其材料和设计需具备良好的热导性，以避免影响测试结果。
3. **平面度**：确保卡盘的表面平整，以便与探针对接，减少接触不良的可能性。
4. **兼容性**：许多卡盘都是设计为与探针台（prober）和测试设备兼容，便于集成使用。
5. **微调功能**：一些的探针台卡盘具备微调功能，可通过机械或电动方式微调晶圆的位置，以达到的探针接触效果。
探针台卡盘在集成电路(IC)制造、半导体器件测试以及材料科学研究等领域广泛应用。
探针座位移平台是一种用于电子测试和测量的设备，主要功能包括：
1. **定位**：能够地移动探针到*的测试点，确保测量的准确性。
2. **多轴控制**：通常具有多个自由度（如X、Y、Z轴），可以在三维空间中灵活移动，以适应不同尺寸和布局的测试样品。
3. **自动化测试**：支持自动化操作，提高测试效率，减少人为误差。
4. **扫描功能**：可以进行扫描操作，逐点测量，以获取样品的电性能数据。
5. **与测试仪器集成**：可与测试仪器（如示波器、LCR表等）连接，进行综合测试与数据分析。
6. **数据记录与分析**：记录测试过程中的数据，并可进行后续分析，以便于评估样品性能。
7. **灵活适应性**：可根据不同的测试需求和样品特性，调整探针的位置和压力，以确保接触。
探针座位移平台在半导体、微电子、材料科学等领域的测试和研究中具有重要的应用价值。
真空探针台是一种用于微电子器件测试与研究的精密仪器，其主要功能包括：
1. **电学测试**：能够对半导体器件进行电性能测试，如IV（电流-电压）特性测试、CV（电容-电压）特性测试等。
2. **高真空环境**：提供高真空或真空环境，减少气体分子对测试结果的干扰，特别是在处理空气敏感材料或**特性研究时尤为重要。
3. **微观定位**：由于其高精度的定位功能，能够对微小结构进行接触和扫描，适用于纳米尺度设备的测试。
4. **冷热测试**：部分真空探针台配备温控系统，可以在低温或高温条件下进行测试，以研究材料和器件在不同温度下的特性。
5. **材料表征**：能够对薄膜、纳米材料等进行表征，分析其电学性质、表面状态等。
6. **集成化测试**：可以与其他仪器（如扫描电子显微镜、原子力显微镜等）联用，进行更深入的材料或器件分析。
总之，真空探针台是半导体研究、材料科学等领域中的重要设备。
同轴真空馈通件是一种用于信号传输的元件，主要的功能包括：
1. **信号传输**：用于在真空环境中传输或微波信号，确保信号的有效传递。
2. **隔离真空和常规环境**：通过密封设计，能够在真空环境下工作，避免外界环境对设备的影响，保护信号传输的稳定性。
3. **低损耗**：设计优化以减少信号在传输过程中的损耗，确保信号的质量。
4. **相位稳定性**：在不同温度和真空条件下，保持信号的相位稳定性。
5. **适应性**：可以和不同类型的同轴电缆和连接器兼容，适应多种不同的应用场合。
6. **性能**：能在率下正常工作，通常用于、通讯、测试设备等设备中。
同轴真空馈通件广泛应用于科学实验、微波技术、卫星通讯、粒子加速器等领域，能够满足信号在特殊环境下的传输需求。
微型高低温真空探针台是一种重要的实验设备，广泛应用于半导体物理、材料科学和纳米技术等领域。其主要功能包括：
1. **温度控制**：能够在较低（如-196°C，液氮温度）到较高（如500°C或更高）温度范围内控制样品的温度。这对于研究材料在不同温度下的性能和行为至关重要。
2. **真空环境**：探针台可以在真空或低气压环境中工作，以减少氧化、污染和其他外部因素对实验结果的影响。这对于敏感材料或纳米结构的测试尤为重要。
3. **电学测试**：探针台通常配备高精度的探针，可以用于对样品进行电性测试，如电导率、霍尔效应等。这些测量可以帮助研究材料的电学特性。
4. **表面和界面分析**：可以研究薄膜、界面和材料表面的电性和热性特性，获取关于材料结构和性能的重要信息。
5. **自动化和集成**：现代探针台常配备有自动化系统，可以实现高通量测试，提高实验效率。此外，它们往往可以与其他表征技术（如AFM、SEM等）集成使用，以获得更全面的材料性能分析。
6. **多功能性**：一些微型高低温真空探针台提供多种功能，可以进行不同类型的测量（如电学、热学、光学等），满足科研人员的多样化需求。
这种设备的综合功能使其成为微电子器件、**材料和其它高科技领域实验研究中的工具。
同轴真空馈通件广泛应用于许多领域，主要包括：
1. **微波通信**：在卫星通信、无线传输等领域中，用于传输信号。
2. **射频功率放大**：在射频（RF）放大器中，帮助传输和采集高功率信号。
3. **天线系统**：在天线和发射器中，用于信号传输。
4. **高能物理实验**：在粒子加速器等实验设备中，用于传输信号。
5. **实验室设备**：在实验室中用于设备的连接和信号传输。
6. **系统**：用于和民用系统中进行信号传递。
7. **设备**：在某些医学成像和设备中也会用到。
同轴真空馈通件的设计需要考虑频率范围、功率处理能力、插入损耗以及物理尺寸等因素，以确保其在特定应用中的性能和可靠性。
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