温度范围零下180~550℃
变温速度0~10℃/min,升降温线性可控
温度分辨率及稳定性± 0.1℃
控温方式PID
温度传感器PT100
温度传感器数量2
致冷方式液氮(泵控制)
探针数量4(可增加)
探针材质紫铜镀金
测试通道4
载样台材质及尺寸银质,35*35mm(以实际尺寸为准)
冷热台尺寸160*150*29mm(以实际尺寸为准)
实验环境可抽真空,可充入保护气氛(氮气),配水冷接口
探针台卡盘(Prober chuck)是半导体测试和测量设备中常用的一种组件,主要用于在测试过程中夹持和定位待测芯片或晶圆。探针台通常用于集成电路(IC)的电性能测试,其主要功能包括:
1. **夹持**:确保芯片在测试时稳定不动,避免因震动或移动导致测量误差。
2. **热管理**:某些探针台卡盘设计中考虑了热管理功能,可以有效散热,以保证测试过程中芯片性能的一致性和准确性。
3. **高精度定位**:支持微米级别的高精度定位,以便探针能够接触到芯片上的测试点。
4. **多功能性**:一些的探针台卡盘可以支持多种测试模式,包括直流测试、交流测试、测试等。
5. **集成化设计**:现代探针台卡盘往往与其他测试设备,如信号发生器、示波器等,进行集成,以提高测试效率。
在选择探针台卡盘时,需要考虑待测器件的类型、尺寸,所需的测试精度以及其他特定要求。
光学探针台是一种用于微观尺度上测量和分析样品的仪器,主要应用于材料科学、半导体研究、纳米技术和生物医学等领域。其主要功能包括:
1. **高精度定位**:光学探针台配备高精度的运动系统,可以将探针或光学装置在样品表面上进行微米级甚至纳米级的定位,以实现准确的测量和操作。
2. **光学成像**:利用高分辨率的成像系统,可以对样品进行实时观察,提供样品表面的详细信息,帮助研究人员分析结构和特性。
3. **探针测量**:光学探针台通常配有不同类型的探针,可以进行电学、热学、力学等性质的测量,例如扫描探针显微镜(SPM)和原子力显微镜(AFM)等。
4. **环境控制**:许多光学探针台可以在控制的环境条件下进行实验(如温度、湿度、气氛等),以观察样品在不同条件下的表现。
5. **数据采集和分析**:通过集成的软件系统,光学探针台可以实时采集数据并进行分析,为研究人员提供有价值的信息。
6. **样品操作**:某些光学探针台还具备对样品进行处理和操作的能力,如刻蚀、沉积等,为材料制备提供。
7. **多功能集成**:现代光学探针台还可以与其他技术结合,如激光光谱、电子显微镜等,以实现更全面的分析与表征。
光学探针台因其和多功能性,成为研究和开发中的重要工具。

光学探针台是一种高精度的实验设备,主要用于表征材料的光学性能和研究微观结构。以下是光学探针台的主要特点:
1. **高精度定位**:光学探针台通常具备高精度的运动系统,能够在微米或纳米级别上进行样品定位,以确保实验结果的准确性。
2. **多功能性**:很多光学探针台可以支持多种测量方法,如反射、透射、荧光及拉曼光谱等,适用于不同的研究需求。
3. **环境控制**:有些光学探针台配备有温度、湿度、气氛等环境控制系统,能够在特定条件下进行实验,适应不同材料的测试要求。
4. **光学元件的集成**:探针台通常集成有高性能的光学元件,如透镜、滤光片和光源等,以提高光学测量的灵敏度和信噪比。
5. **图像采集与分析**:许多光学探针台具有图像采集功能,可以实时观察样品表面、形貌及其他特征,并与测量数据结合进行分析。
6. **模块化设计**:一些探针台是模块化的,可以根据实验需要进行升级和扩展,适应不同的研究需求。
7. **用户友好的操作界面**:现代的光学探针台通常配备友好的软件界面,使得用户可以轻松设置实验参数,进行数据采集和分析。
8. **适用性广**:广泛应用于半导体、材料科学、生物医学等领域,在基础研究和工业应用中都具有重要价值。
光学探针台因其高度和多功能性,被广泛用于科研与工业领域的光学测量与分析任务。

探针夹具是一种用于电子测量和测试的工具,广泛应用于半导体行业、电子元件测试和电路板维修等领域。它的主要特点包括:
1. **性**:探针夹具能够以较高的精度对接触点施加压力,以确保可靠的电气接触,从而提高测试数据的准确性。
2. **多功能性**:不同类型的探针夹具可以适配测试需求,包括不同类型的探针和接触方式,满足不同的测试标准。
3. **可靠性**:的设计和材料选择使得探针夹具在多次使用中保持稳定的性能,降低故障率,提高测试的可靠性。
4. **灵活性**:探针夹具通常具有可调节的结构,可以适应不同尺寸和形状的被测物体,增强了使用的灵活性。
5. **易于操作**:设计时考虑到人机工程学,使得操作者能够方便地进行装配、调节和操作,减少了使用时的复杂性。
6. **兼容性**:探针夹具可以与多种测试设备(如示波器、万用表等)兼容使用,提升测试系统的集成度。
7. **耐用性**:量的材料和精密的制造工艺确保了探针夹具的耐用性,在率使用的环境下仍能保持良好的性能。
8. **热稳定性**:一些探针夹具设计考虑到了热膨胀的影响,保证在温度变化下仍能提供稳定的测试性能。
总之,探针夹具在电子测试和测量中扮演着重要角色,通过其优良的设计和性能特征,能够显著提高测试效率和可靠性。

真空探针台是一种用于微电子和材料科学领域的高精度测试设备,主要用于对半导体wafer、材料样品的电气特性进行测量。其特点主要包括:
1. **高真空环境**:真空探针台能够在高真空条件下工作,减少气体分子对测试过程的干扰,提高测量的准确性和重复性。
2. **高精度定位**:该设备通常配备高精度的定位系统,可以对准探针与样品的接触点,确保测量的准确性。
3. **多样化探针选择**:真空探针台支持多种类型的探针,可根据不同的实验需求进行更换,适应不同的测试任务。
4. **温度控制功能**:许多真空探针台配备了温度控制系统,能够在特定温度下进行测量,对于研究材料的温度依赖特性尤为重要。
5. **高灵敏度测量**:在真空条件下,探针台能够进行更高灵敏度的电气测量,适合于低信号的测量任务。
6. **兼容性强**:真空探针台通常可以与多种测试设备协同使用,如网络分析仪、示波器等,满足多种测试需求。
7. **自动化程度**:现代真空探针台往往具备自动化控制系统,能够实现自动对焦、扫描和数据采集,提高实验效率。
8. **适用范围广泛**:真空探针台不仅可用于半导体行业,还可广泛应用于材料测试、纳米技术、生物传感器等多个领域。
总体而言,真空探针台是进行精细化电气测试的重要工具,其特性使其在科研和工业应用中具有的地位。
探针台卡盘广泛应用于半导体行业,尤其是在集成电路(IC)测试和微电子设备的研发过程中。其适用范围主要包括以下几个方面:
1. **半导体测试**:用于对晶圆或封装好的芯片进行电气测试,验证其性能和功能。
2. **光电器件测量**:适用于光电传感器、激光器等器件的测试,评估其光电性能。
3. **微机电系统(MEMS)**:在MEMS器件的研发与测试中,探针台卡盘能够帮助实现高精度的电气连接和测试。
4. **材料研究**:用于研究新材料的电学性质,评估其在电子器件中的应用潜力。
5. **教育与研发**:在实验室和高等院校中,用于教学和科研活动,帮助学生和研究人员进行基础实验和技术开发。
探针台卡盘的设计通常强调高精度和可调性,以适应不同尺寸和类型的测试样品,确保测试结果的准确性和重复性。
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