真空腔室Ф246×228mm，304优质不锈钢
分子泵进口Pfeiffer分子泵
前级泵机械泵，北仪优成
真空规全量程真空规，上海玉川
溅射靶Ф2英寸永磁靶2支（含靶挡板）
溅射电源500W直流电源1台，300W射频电源1台
流量计20sccm/50sccm进口WARWICK
控制系统PLC+触摸屏智能控制系统1套
冷水机LX-300
前级阀GDC-25b电磁挡板阀1套
旁路阀GDC-25b电磁挡板阀1套
限流阀DN63mm一套
充气阀Φ6mm，电磁截止阀1套
放气阀Φ6mm，电磁截止阀1套
基片台Ф100mm，高度：60～120mm可调，旋转：0-20r/min可调，可加热至300℃
膜厚监控仪进口Inficon SQM-160单水冷探头，精度0.1Å（选配）
真空管路波纹管、真空管道等1套
设备机架机电一体化
预留接口CF35法兰一个
备件CF35铜垫圈及氟密封圈全套等
靶材通常是指在物理实验、材料科学或工业应用中用作靶的材料。在实验中，靶材可以被用来接收粒子束的撞击，如在粒子加速器中，靶材用于产生射线或其他物理现象。在材料科学中，靶材常用于薄膜沉积技术，如溅射或蒸发镀膜，以形成特定的薄膜材料。
靶材的种类和特性会根据其应用而有所不同，例如金属靶、陶瓷靶或复合材料靶。选择合适的靶材可以影响到实验的结果、材料的性质以及终产品的性能。你想了解靶材的哪个方面呢？
磁控溅射镀膜机是一种用于薄膜沉积的设备，广泛应用于电子、光学、太阳能、LED等领域。其主要功能包括：
1. **薄膜沉积**：通过溅射技术，将靶材表面的原子或分子激发并沉积在基材表面，从而形成薄膜。可以沉积金属、绝缘体和半导体等多种材料。
2. **膜层均匀性调控**：通过调整溅射参数（如气体流量、功率、沉积时间等），可以控制薄膜的厚度和均匀性，满足不同应用的要求。
3. **材料性质优化**：可以通过改变靶材的种类、沉积环境等方式，调节薄膜的物理和化学性质，如电导率、光学透过率等。
4. **多层膜沉积**：可以实现多层膜的交替沉积，满足复杂器件的需求，比如光学滤光片、传感器等。
5. **真空环境**：在真空条件下进行沉积，可以减少膜层缺陷，提高膜层的质量及其性能。
6. **可控厚度及成分**：通过控制溅射时间和功率，可以实现对膜层厚度及化学成分的准确调控，适用于应用需求。
7. **适应性强**：可以使用多种靶材和基材，广泛应用于不同领域，包括电子器件、光电材料、装饰性涂层等。
磁控溅射镀膜机因其优越的沉积过程和膜层质量，在现代材料科学和工程中占有重要地位。
磁控溅射是一种广泛应用于薄膜沉积的技术，主要用于在基材上沉积金属、绝缘体或半导体材料。其功能和优势包括：
1. **量薄膜**：磁控溅射能够沉积出均匀、致密且质量优良的薄膜，适用于材料，包括金属、合金和氧化物等。
2. **可控性强**：通过调节溅射参数（如气压、电源功率、磁场强度等），可以控制薄膜的厚度和性质。
3. **低温沉积**：与其他沉积技术相比，磁控溅射通常可以在较低温度下进行，这对于热敏感材料尤为重要。
4. **多种材料的沉积**：可以在不同类型的基材上沉积材料，适用范围很广。
5. **高沉积速率**：由于利用了磁场增强离子化过程，磁控溅射的沉积速率通常较高，能够提高生产效率。
6. **良好的附着力**：沉积的薄膜与基材之间具有良好的附着力，适合用于多种应用。
7. **均匀性和厚度控制**：可以实现大面积的均匀沉积，适用于需要大尺寸薄膜的应用。
磁控溅射广泛应用于光电器件、太阳能电池、薄膜电路、保护涂层等领域。
靶材通常是在物理、化学和材料科学等领域中使用的一种材料，主要具有以下功能：
1. **靶向作用**：在粒子物理实验中，靶材可用于吸收入射粒子并产生可观测的反应，如在粒子加速器中用作靶。
2. **材料沉积**：在薄膜沉积技术中，靶材用于将材料蒸发或溅射到基底上，形成薄膜。这在电子器件、光学涂层等应用中重要。
3. **反应介质**：在化学反应中，靶材可以作为反应物，产生相应的化学反应或物理变化。
4. **能量传输**：靶材能够接收入射粒子的能量并将其转化为其他形式的能量，或以其他方式传递能量。
5. **示踪和检测**：在放射性同位素研究中，靶材可以用作示踪剂，帮助检测和分析现象。
总之，靶材在科学研究和工业应用中扮演着重要的角色，其具体功能根据应用场景的不同而有所差异。
样品台通常用于科学实验、显微镜观察及工业测试等领域，其主要功能包括：
1. **支撑样品**：样品台提供一个稳定的表面，用于放置和支撑待观察或测试的样品。
2. **调整位置**：许多样品台具有可调节的机制，允许用户定位样品，以便于观察和分析。
3. **光学观察**：在显微镜等光学设备中，样品台能够在光束的照射下，让研究人员清晰观察样品的细节。
4. **温度控制**：一些样品台具有温控功能，可以在特定的温度条件下实验，适用于生物样品的观测。
5. **样品固定**：样品台上通常会配备夹具或黏合剂，以确保样品在观察或测试过程中移动。
6. **兼容性**：许多样品台设计为能够与不同类型的设备（如显微镜、光谱仪等）兼容，便于科学研究。
7. **数据记录**：某些样品台配备传感器，可以实时记录样品的变化，便于后续分析。
以上是样品台的一些主要功能，具体功能可能根据不同的应用领域和设备类型而有所不同。
PVD（物相沉积）镀膜机广泛应用于多个领域，其适用范围包括但不限于：
1. **电子行业**：用于制造半导体器件、电容器、导电膜、光学器件等。
2. **太阳能行业**：用于光伏电池的抗反射膜和导电膜的沉积。
3. **光学元件**：用于制造镜头、滤光片、光学涂层等，提高光学性能和耐磨性。
4. **工具和模具**：用于在工具和模具表面镀膜，以提高耐磨性、耐腐蚀性和降低摩擦。
5. **装饰和饰品**：用于金属和非金属表面的装饰性镀膜，如汽车配件、家居用品等。
6. **器械**：用于器械表面镀膜，以提高生物相容性和性能。
7. **和**：在材料上镀膜，以提高其性能和耐久性。
PVD技术因其可以沉积多种材料且能够控制膜的厚度、组成和质量，受到广泛青睐。
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