真空腔室Ф246×260mm,304优质不锈钢
分子泵国产FF-63/80分子泵
前级泵机械泵
真空规全量程真空规
蒸发源电阻蒸发源(兼容金属与**蒸发)3组,可切换使用
蒸发电源2000W直流蒸发电源1台,供3组蒸发源切换使用
控制系统PLC+触摸屏智能控制系统1套
冷水机LX-300
膜厚仪FTM-107A单探头
前级阀GDC-25b电磁挡板阀1套
充气阀Φ6mm,电磁截止阀1套
基片台可拆卸式60×60mm,具备水冷、旋转功能
真空管路波纹管、真空管道等1套
设备机架机电一体化
预留接口CF35一个
辅件备件CF35铜垫圈及氟密封圈全套等
桌面型热蒸发镀膜仪是一种用于在材料表面沉积薄膜的设备,广泛应用于光电子、半导体、太阳能电池等领域。它的工作原理是通过加热金属或其他材料,使其蒸发并在待镀膜的基材表面沉积形成薄膜。
### 主要特点:
1. **紧凑设计**:相较于大型镀膜设备,桌面型热蒸发镀膜仪体积小,适合实验室和小规模生产使用。
2. **易于操作**:通常配备用户友好的操作界面,便于研究人员和技术人员使用。
3. **温度控制**:具备的温度控制系统,可以根据不同材料的特性调整加热温度,以实现蒸发效果。
4. **真空环境**:镀膜过程一般在真空环境中进行,以减少气体对蒸发材料的干扰,提高薄膜质量。
5. **薄膜厚度监测**:一些仪器配有实时监测薄膜厚度的功能,确保镀膜过程的控制。
6. **广泛应用**:适用于金属、合金、氧化物等多种材料的镀膜,能够满足不同领域的需求。
### 适用领域:
- **光学镀膜**:用于制造反射镜、抗反射涂层等光学元件。
- **微电子**:用于集成电路、传感器等微电子元件的制造。
- **太阳能**:用于光伏材料的制备,提高太阳能电池的效率。
### 注意事项:
- **物料选择**:不同材料的蒸发温度和特性不同,需根据实际需求选择合适的材料。
- **真空度控制**:保证设备在运行期间的真空度,以提高薄膜质量。
- **安全防护**:高温和真空环境下操作时,需注意安全防护,避免或其他意外。
总之,桌面型热蒸发镀膜仪是一种、便捷的薄膜沉积设备,适合科研和小规模生产的需求。
热蒸发镀膜机是一种常用于薄膜沉积的设备,其主要特点包括:
1. **高纯度镀膜**:由于采用高温加热源,能有效蒸发材料,沉积出的薄膜通常具有较高的纯度。
2. **良好的均匀性**:通过合理设计源与基片之间的距离,可以实现较均匀的膜层厚度。
3. **适用范围广**:可以用于多种材料的沉积,包括金属、半导体及一些绝缘材料。
4. **沉积速率可调**:通过调节加热温度和蒸发源的功率,可以实现不同沉积速率,满足不同应用需求。
5. **操作简便**:热蒸发镀膜机的操作相对简单,适合实验室及工业生产使用。
6. **适配性强**:可以与其他设备如真空系统、光学测厚仪等配合,提升沉积效果和膜层质量。
7. **成本效益高**:相较于其他镀膜技术,热蒸发镀膜机的设备投资和运行成本通常较低。
8. **膜层控制能力强**:可以通过调整蒸发时间和材料供应来实现膜厚的控制。
总的来说,热蒸发镀膜机以其优良的膜层质量和较为简单的操作,在科研和工业应用中广泛使用。
**蒸发镀膜机是一种用于在基材上沉积**薄膜的设备,广泛应用于光电器件、显示器、太阳能电池等领域。其主要特点包括:
1. **能沉积**:**蒸发镀膜机能够地将**材料转化为气相并沉积在基材表面,形成均匀的薄膜。
2. **良好的膜质量**:设备通常采用的真空技术,能够有效去除杂质,从而获得量的**薄膜,具有良好的光学和电气性能。
3. **自动化程度高**:现代**蒸发镀膜机一般配备自动化控制系统,能够控制各个工艺参数,如温度、压力、沉积速率等,提升了生产效率和膜层一致性。
4. **适应性强**:该设备可以处理类型的**材料,包括小分子**物和高分子聚合物,适用于不同的应用需求。
5. **设备灵活性**:**蒸发镀膜机通常具有较高的配置灵活性,可以根据不同的工艺需求进行调整和改造,适应多种生产环境。
6. **节能环保**:部分**蒸发镀膜机采用节能设计,降低了能源消耗,同时在材料选择和生产过程中也考虑环保因素。
7. **适用于大面积沉积**:一些型号能够实现大面积基材的沉积,满足大尺寸器件的生产需求。
综上所述,**蒸发镀膜机凭借其、灵活和环保的特点,成为了现代电子和光电产业中的重要设备。
蒸发舟是一种常用于材料科学和薄膜制备的设备,特别是在物相沉积(PVD)技术中。蒸发舟的主要作用是通过加热将固态材料转化为气态,以实现薄膜的沉积。蒸发舟蒸发颗粒的特点主要包括以下几个方面:
1. **均匀性**:蒸发过程中,颗粒的蒸发速率较为均匀,能够在基底上形成均匀的薄膜。
2. **可控性**:通过调节加热温度和加热时间,可以控制蒸发速率,从而调节薄膜的厚度和组成。
3. **材料兼容性**:蒸发舟可以用于多种不同材料的蒸发,如金属、氧化物和高分子材料等,适应性较强。
4. **颗粒尺寸**:蒸发颗粒的尺寸通常较小,有助于加快蒸发速度,提升薄膜的沉积效率。
5. **高纯度**:蒸发舟中使用的材料一般要求高纯度,以确保终薄膜的性能和质量。
6. **热稳定性**:蒸发舟本身需要具备良好的热稳定性,以承受高温而不发生变形或熔化。
7. **气氛控制**:蒸发实验通常在真空或特定气氛中进行,以避免反应杂质的影响,确保颗粒的质量。
这些特点使得蒸发舟在真空蒸发和其他沉积技术中得到了广泛应用。
小型热蒸发镀膜机是一种常见的实验室设备,主要用于材料表面的薄膜沉积,其特点包括:
1. **小巧便携**:设计紧凑,适合实验室、研究机构及小规模生产等场所使用,便于搬运和安装。
2. **操作简便**:通常配备直观的操作界面和控制系统,便于用户操作和调节参数。
3. **蒸发效率高**:利用热蒸发原理,能够在较短时间内实现率的镀膜过程。
4. **适用材料广泛**:可以用于多种金属及某些非金属材料的蒸发镀膜,适应性强。
5. **膜层质量好**:能够沉积出均匀、致密的薄膜,满足高要求的光学、电气性能。
6. **真空环境**:配置高真空系统,可以有效防止污染,提高膜层纯度。
7. **温度控制**:具备的温度控制功能,能够调节蒸发源的温度,以优化膜层性能。
8. **成本相对较低**:相比于大型镀膜设备,投资成本较低,适合预算有限的单位。
9. **多样化的附加功能**:部分设备还可以选配如厚度监测、靶材更换等功能,以提高应用的灵活性。
10. **节能环保**:现代设备在设计上往往考虑能耗,运行过程中的能量利用效率较高。
这些特点使得小型热蒸发镀膜机在科学研究、新材料开发和小规模生产中拥有广泛的应用前景。
电阻蒸镀机是一种用于材料蒸发沉积的设备,广泛应用于领域。其适用范围包括但不限于以下几个方面:
1. **半导体行业**:用于制造集成电路、传感器等器件的金属电极和薄膜。
2. **光电设备**:在太阳能电池、显示器(如LCD和OLED)及光伏组件的制造中,用于沉积导电薄膜和反射膜。
3. **光学涂层**:用于光学器件如镜头、滤光片等的反射或抗反射 coating。
4. **包装材料**:在某些特殊包装材料中,电阻蒸镀可用于增强气密性或加涂保护层。
5. **饰品与工艺品**:在珠宝、手表等消费品的表面处理上,提供金属镀层以增加美观及耐腐蚀性。
6. **管道与设备**:在某些工业应用中,用于管道或设备表面的金属涂层。
总的来说,电阻蒸镀机因其高精度、高均匀性和良好的附着力,广泛应用于需要精细金属沉积的各个行业。
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