真空腔室L400×W440×H450mm,采用SUS304优质不锈钢
观察窗Φ100mm,含磁力挡板
屏蔽板不锈钢,便于拆卸清洁、更换
水冷蒸发电极8根组成4组
金属蒸发电源功率3kW
复合分子泵JTFB-650Z脂润滑分子泵,抽速650L/s
直联高速旋片式真空泵TRP-36,抽速9L/s
气动高真空插板阀DN150
前级阀/旁路阀DN40
放气阀φ10 电磁充气阀
数显复合真空计两低一高,含规管
波纹管、真空管道材质SUS304不锈钢
电阻蒸镀机是一种用于薄膜沉积的设备,广泛应用于半导体、光电、 optics 等领域。它的基本工作原理是通过电阻加热将材料(通常是金属或合金)加热到蒸发温度,使其从固态转变为气态,然后冷却后在基材上形成薄膜。
以下是电阻蒸镀机的一些关键组成部分和特点:
1. **电阻加热源**:通过电阻丝或钨丝加热蒸发源,相关温度能够控制材料的蒸发速率。
2. **真空室**:在真空环境下进行蒸镀可以减少气体分子的干扰,从而提高薄膜的质量和纯度。
3. **蒸发源**:放置待蒸发材料的地方,常用的材料有铝、金、银等。
4. **基材夹持系统**:用于固定待涂覆的物体,确保薄膜均匀性。
5. **厚度监测器**:通常使用晶体监测器(如QCM)来实时监测薄膜的厚度,确保达到预定的沉积量。
6. **冷却系统**:在蒸镀过程中,冷却系统可以防止设备过热,保证设备和材料的稳定性。
电阻蒸镀机具有操作简便、控制准确和沉积均匀等优点,适合大面积和高均匀性薄膜的制备。由于其热沉积的特性,相比其他蒸镀方式(例如电子束蒸镀),更适合处理低熔属和合金。
束源炉(也称束流源或粒子束源)是一种产生高能粒子束的装置,广泛应用于粒子物理、材料科学、医学和工业等领域。其主要功能包括:
1. **粒子束生成**:束源炉能够生成高能电子、质子或离子束,供给实验或应用需要。
2. **加速粒子**:通过电场和磁场加速粒子到所需的能量,从而实现对粒子的控制和操纵。
3. **材料研究**:在材料科学中,束源炉可用于对材料进行辐照实验,研究其在高能粒子辐照下的结构和性能变化。
4. **医学应用**:在领域,束源炉可以用于(如质子疗法)、放射等。
5. **显微成像**:利用电子束进行扫描隧道显微镜(STM)或透射电子显微镜(TEM)等高分辨率成像。
6. **同位素生产**:产生短寿命或特定同位素,以用于医学成像或。
7. **基础科学研究**:为基本粒子物理实验提供高能碰撞,帮助研究粒子特性和宇宙基本法则。
总之,束源炉是一个重要的研究和应用工具,为科学研究和技术发展提供了基础支持。
**蒸发镀膜机是一种用于**材料沉积的设备,广泛应用于电子、光电子、显示器和光学器件等领域。其主要特点包括:
1. **高真空环境**:**蒸发镀膜机通常在高真空环境下操作,这有助于减少蒸发过程中分子的碰撞,从而提高膜层的质量和均匀性。
2. **的温度控制**:设备配备高精度的温控系统,可以控制蒸发源的温度,从而调节沉积速率,确保膜层的厚度和质量。
3. **多种蒸发源**:可以支持多种**材料的蒸发,如聚合物、染料等,满足不同应用的需求。
4. **可调节的沉积速率**:通过改变蒸发源的功率和距离,可以实现对沉积速率的调控。
5. **自动化控制**:现代化的**蒸发镀膜机通常配备自动化控制系统,可以进行实时监测和数据记录,提高操作的便利性和重复性。
6. **良好的膜附着力**:在合适的条件下,**蒸发镀膜可以获得良好的膜附着力,有助于提高器件的性能和稳定性。
7. **适应性强**:可用于不同基材和形状的沉积,灵活适应工艺要求。
8. **可扩展性**:许多**蒸发镀膜机支持添加不同的配件和功能模块,方便进行多种工艺的扩展。
9. **环保性**:与传统的化学沉积方法相比,**蒸发镀膜通常产生的废物较少,较为环保。
这些特点使得**蒸发镀膜机在许多高科技领域中具有重要的应用价值。
热蒸镀是一种常用的金属涂层技术,主要用于提供良好的耐腐蚀性和表面硬度。它的特点包括:
1. **优良的附着力**:热蒸镀形成的涂层与基材之间有良好的结合力,通常能够承受较大的机械应力和环境变化。
2. **均匀的涂层厚度**:热蒸镀过程可以实现较为均匀的涂层厚度,能够覆盖复杂形状的工件。
3. **良好的防腐蚀性**:涂层材料(如锌、铝等)能够有效防止基材氧化和腐蚀,延长产品的使用寿命。
4. **耐磨性和耐热性**:热蒸镀后形成的涂层通常具有较高的硬度和耐磨性,适合用于高磨损环境;部分涂层还具有良好的耐热性。
5. **成本效益**:相比于其他涂层技术(如电镀、喷涂等),热蒸镀在某些情况下能提供更低的生产成本和更高的生产效率。
6. **环境友好**:某些热蒸镀材料相对环保,且无污染物的排放。
7. **适用范围广**:可以用于金属材料,如钢铁、铝合金等,广泛应用于建筑、汽车、等行业。
综上所述,热蒸镀因其出色的性能和适用性而在工业领域得到了广泛应用。
束源炉是一种用于核聚变研究和实验的设备,其主要特点包括:
1. **高温高压环境**:束源炉能够创造较高的温度和压力,以促进核聚变反应的发生。
2. **等离子体控制**:通过强磁场或其他手段,束源炉能够有效控制和维持等离子体的稳定性,这是实现聚变的关键。
3. **粒子束注入**:束源炉通常使用高速粒子束注入技术,将粒子直接注入等离子体中,以提高反应的效率以及能量的密度。
4. **实验灵活性**:束源炉的设计允许对不同的聚变燃料(如、氚等)进行实验,这为研究聚变反应提供了灵活性。
5. **能量输出**:如果成功实现聚变反应,束源炉有潜力成为一种的能量来源,对未来的能源解决方案具有重要意义。
6. **研究应用**:束源炉不仅用于基础科学研究,还可应用于医学、材料科学及核能开发等多个领域。
总体而言,束源炉是一种的科学仪器,为核聚变技术的发展提供了重要的实验平台。
热蒸发镀膜机是一种广泛应用于材料科学、半导体工业、光学器件制造等多个领域的设备。其适用范围包括但不限于以下几个方面:
1. **光学镀膜**:用于光学透镜、滤光片、反射镜等光学元件的镀膜,提升其透过率和反射率。
2. **电子器件**:在半导体器件制造中,用于沉积金属或绝缘材料,形成电路图案。
3. **太阳能电池**:用于光伏组件的薄膜沉积,提高能量转化效率。
4. **金属镀层**:在材料表面形成金属层,以增强导电性、抗腐蚀性等。
5. **材料研究**:用于新材料的开发和性能测试,研究薄膜特性及其应用。
6. **装饰性镀层**:在珠宝、钟表等产品上进行装饰性镀层,提升外观及耐用性。
由于热蒸发镀膜机具有良好的沉积均匀性和控制精度,因此在各个领域中都受到广泛应用。
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