真空腔室Ф246×260mm，304优质不锈钢
分子泵国产FF-63/80分子泵
前级泵机械泵
真空规全量程真空规
蒸发源电阻蒸发源（兼容金属与**蒸发）3组，可切换使用
蒸发电源2000W直流蒸发电源1台，供3组蒸发源切换使用
控制系统PLC+触摸屏智能控制系统1套
冷水机LX-300
膜厚仪FTM-107A单探头
前级阀GDC-25b电磁挡板阀1套
充气阀Φ6mm，电磁截止阀1套
基片台可拆卸式60×60mm，具备水冷、旋转功能
真空管路波纹管、真空管道等1套
设备机架机电一体化
预留接口CF35一个
辅件备件CF35铜垫圈及氟密封圈全套等
束源炉是一种利用束流技术进行核聚变反应的实验性装置。这种炉的设计通常侧重于使用高能粒子束（如质子束或离子束）来加热和压缩燃料，以达成核聚变所需的条件。束源炉的研究相较于传统的核聚变方式（如托卡马克和激光聚变）具有一些特的优势和挑战。
束源炉的主要优点包括：
1. **灵活性**：束流技术可以调节粒子的能量和密度，从而对反应条件进行控制。
2. **物理机制**：通过高能束流的聚焦，可以在较小的体积内实现高温高压，有助于激发聚变反应。
3. **小型化**：与大型的托卡马克设备相比，束源炉有可能实现更小型化的设计。
然而，束源炉也面临一些挑战，如对材料的较端要求、粒子束的聚焦与稳定控制等。尽管如此，束源炉作为核聚变研究中的一种*技术，持续吸引着科学家的关注和研究。
蒸发舟是一种常用于材料科学和薄膜制备的设备，特别是在物相沉积（PVD）技术中。蒸发舟的主要作用是通过加热将固态材料转化为气态，以实现薄膜的沉积。蒸发舟蒸发颗粒的特点主要包括以下几个方面：
1. **均匀性**：蒸发过程中，颗粒的蒸发速率较为均匀，能够在基底上形成均匀的薄膜。
2. **可控性**：通过调节加热温度和加热时间，可以控制蒸发速率，从而调节薄膜的厚度和组成。
3. **材料兼容性**：蒸发舟可以用于多种不同材料的蒸发，如金属、氧化物和高分子材料等，适应性较强。
4. **颗粒尺寸**：蒸发颗粒的尺寸通常较小，有助于加快蒸发速度，提升薄膜的沉积效率。
5. **高纯度**：蒸发舟中使用的材料一般要求高纯度，以确保终薄膜的性能和质量。
6. **热稳定性**：蒸发舟本身需要具备良好的热稳定性，以承受高温而不发生变形或熔化。
7. **气氛控制**：蒸发实验通常在真空或特定气氛中进行，以避免反应杂质的影响，确保颗粒的质量。
这些特点使得蒸发舟在真空蒸发和其他沉积技术中得到了广泛应用。
小型热蒸发镀膜机是一种常见的实验室设备，主要用于材料表面的薄膜沉积，其特点包括：
1. **小巧便携**：设计紧凑，适合实验室、研究机构及小规模生产等场所使用，便于搬运和安装。
2. **操作简便**：通常配备直观的操作界面和控制系统，便于用户操作和调节参数。
3. **蒸发效率高**：利用热蒸发原理，能够在较短时间内实现率的镀膜过程。
4. **适用材料广泛**：可以用于多种金属及某些非金属材料的蒸发镀膜，适应性强。
5. **膜层质量好**：能够沉积出均匀、致密的薄膜，满足高要求的光学、电气性能。
6. **真空环境**：配置高真空系统，可以有效防止污染，提高膜层纯度。
7. **温度控制**：具备的温度控制功能，能够调节蒸发源的温度，以优化膜层性能。
8. **成本相对较低**：相比于大型镀膜设备，投资成本较低，适合预算有限的单位。
9. **多样化的附加功能**：部分设备还可以选配如厚度监测、靶材更换等功能，以提高应用的灵活性。
10. **节能环保**：现代设备在设计上往往考虑能耗，运行过程中的能量利用效率较高。
这些特点使得小型热蒸发镀膜机在科学研究、新材料开发和小规模生产中拥有广泛的应用前景。
蒸发舟（或称为蒸发小舟）在化学和材料科学中主要用于薄膜的制备和物质的蒸发沉积。它的基本功能包括：
1. **材料蒸发**：蒸发舟可以将固态材料加热到其蒸发温度，使其转变为气态，通过真空或惰性气体环境将蒸发出的颗粒沉积在基材上。
2. **薄膜沉积**：通过控制蒸发过程可以在基材上形成均匀、薄的薄膜，这对于制作电子器件、光学涂层等重要。
3. **材料选择性**：蒸发舟可以用于多种材料（如金属、氧化物、聚合物等）的蒸发，适应不同的应用需求。
4. **控制**：通过调整加热功率和蒸发时间，可以控制沉积的厚度和质量。
5. **提高纯度**：在真空环境中蒸发，可以减少杂质及氧化反应，得到较高纯度的沉积材料。
6. **应用广泛**：蒸发舟被广泛应用于半导体制造、光学器件、太阳能电池、传感器等领域。
通过这些功能，蒸发舟在材料的制备和研究中起到了关键的作用。
**蒸发镀膜机是一种用于薄膜材料的沉积设备，主要应用于电子、光电、光学等领域。其功能主要包括：
1. **薄膜沉积**：通过加热**材料，使其蒸发并沉积在基板表面，形成均匀的薄膜。
2. **控制膜厚**：可以控制沉积的膜厚度，以满足应用需求。
3. **大面积涂层**：适用于大尺寸基板的涂层工艺，满足工业生产需求。
4. **高真空环境**：在高真空条件下进行镀膜，减少杂质，提升膜层质量。
5. **材料适应性**：可用于多种**材料的镀膜，如聚合物、染料、液晶等。
6. **多层膜结构**：能够实现多层膜的沉积，适用于复杂结构的器件。
7. **智能控制**：现代设备通常配备的控制系统，可以自动调节参数，提升生产效率和膜的均匀性。
通过以上功能，**蒸发镀膜机在太阳能电池、显示器、传感器等领域发挥着重要作用。
**蒸发镀膜机主要用于在基材上沉积**薄膜，广泛应用于以下领域：
1. **显示器行业**：用于制造OLED（**发光二极管）显示屏，包括电视、手机和其他电子设备。
2. **光伏产业**：在太阳能电池制造中用于沉积薄膜，有助于提高光电转化效率。
3. **光学涂层**：用于制作光学器件的抗反射涂层，增强光学性能。
4. **传感器**：制造气体传感器、温度传感器等，利用**材料的特性进行性能优化。
5. **薄膜电容器**：用于电子元件中，以提高电容器的性能和稳定性。
6. **包装行业**：用于食品包装材料的表面处理，改善阻隔性和耐久性。
7. **艺术及装饰**：在一些艺术作品或装饰品上，使用**薄膜达到特定的视觉和触感效果。
**蒸发镀膜机因其高精度和可控性，能够满足不同领域对薄膜性能的多样化需求。
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