温度范围零下180~550℃
变温速度0~10℃/min,升降温线性可控
温度分辨率及稳定性± 0.1℃
控温方式PID
温度传感器PT100
温度传感器数量2
致冷方式液氮(泵控制)
探针数量4(可增加)
探针材质紫铜镀金
测试通道4
载样台材质及尺寸银质,35*35mm(以实际尺寸为准)
冷热台尺寸160*150*29mm(以实际尺寸为准)
实验环境可抽真空,可充入保护气氛(氮气),配水冷接口
真空探针台是一种用于微电子器件测试和特性分析的设备,广泛应用于半导体研究和研发领域。它的主要功能是将探针对准被测试样品,同时在真空环境下进行的电气测试。
真空探针台的工作原理是通过在高真空状态下,将探针与芯片或其他样品直接接触,以测量其电气特性。在真空环境中,能够减少空气干扰,降低氧化和污染的风险,从而提供更准确和重复的测试结果。
主要用途包括:
1. **半导体器件的特性测试**:如 MOSFET、二极管等。
2. **材料研究**:在材料科学中,对特定材料的电性和热性进行研究。
3. **微纳米技术的研发**:在 MEMS(微电机械系统)和纳米尺度器件的开发和测试中。
真空探针台通常配备高精度的定位系统,以确保探针能够准确地对准待测样品,此外,有些设备还可与其他测试仪器(如示波器、源测量单元等)集成,以实现更复杂的测试需求。
同轴真空馈通件是一种用于电子设备的连接器,主要用于在真空环境中传输信号。其特点包括:
1. **优良的信号传输性能**:同轴结构能够有效地减少信号的损耗和反射,保证信号的质量。
2. **良好的屏蔽性能**:同轴设计可提供较好的电磁干扰屏蔽,防止外部干扰信号影响传输质量。
3. **耐高真空特性**:专门设计用于在真空环境中工作,不易受到气体和水分的影响,适用于真空设备,如粒子加速器和真空腔等。
4. **高功率承受能力**:能够承受较高的功率水平,适合用于高功率射频应用。
5. **机械稳定性**:结构坚固,能够经受一定的机械应力和温度变化。
6. **便于安装和维护**:设计通常考虑到易于安装和维护,便于与其他设备连接。
7. **多种接口类型**:可根据需要提供不同类型的连接器接口,以适应应用场景。
以上这些特点使得同轴真空馈通件在通信、射频设备及实验物理等领域具有广泛的应用前景。

微型高低温真空探针台是一种用于电子材料和器件测试的精密仪器,具备以下几个主要特点:
1. **高低温测试能力**:能够在较低温(如液氮温度)到高温(如400°C以上)范围内进行测试,适用于不同温度环境下的材料性能研究。
2. **真空环境**:探针台设计用于在高真空条件下操作,减少氧化和污染,确保测试结果的准确性和重复性。
3. **高精度探测**:配备高精度的探针和测量系统,能够准确获取微小电流、电压等信号,适用于微小尺度器件的电测量。
4. **微型化设计**:体积小巧,便于在有限空间内进行操作,适合于微电子器件、纳米材料等研究。
5. **灵活的样品装配**:通常具有友好的样品夹具设计,便于不同类型和尺寸的样品装配和更换。
6. **多功能性**:可能支持多种测试模式,如直流测试、交流测试、霍尔效应测试等,适用范围广。
7. **易于连接**:可与其他测试设备(如示波器、信号发生器等)快速连接,便于进行综合测试。
总之,微型高低温真空探针台在材料科学、半导体研究和纳米技术等领域中具有重要的应用价值。

真空探针台是一种用于微电子器件测试与研究的精密仪器,其主要功能包括:
1. **电学测试**:能够对半导体器件进行电性能测试,如IV(电流-电压)特性测试、CV(电容-电压)特性测试等。
2. **高真空环境**:提供高真空或真空环境,减少气体分子对测试结果的干扰,特别是在处理空气敏感材料或**特性研究时尤为重要。
3. **微观定位**:由于其高精度的定位功能,能够对微小结构进行接触和扫描,适用于纳米尺度设备的测试。
4. **冷热测试**:部分真空探针台配备温控系统,可以在低温或高温条件下进行测试,以研究材料和器件在不同温度下的特性。
5. **材料表征**:能够对薄膜、纳米材料等进行表征,分析其电学性质、表面状态等。
6. **集成化测试**:可以与其他仪器(如扫描电子显微镜、原子力显微镜等)联用,进行更深入的材料或器件分析。
总之,真空探针台是半导体研究、材料科学等领域中的重要设备。

光学探针台是一种高精度的实验设备,主要用于表征材料的光学性能和研究微观结构。以下是光学探针台的主要特点:
1. **高精度定位**:光学探针台通常具备高精度的运动系统,能够在微米或纳米级别上进行样品定位,以确保实验结果的准确性。
2. **多功能性**:很多光学探针台可以支持多种测量方法,如反射、透射、荧光及拉曼光谱等,适用于不同的研究需求。
3. **环境控制**:有些光学探针台配备有温度、湿度、气氛等环境控制系统,能够在特定条件下进行实验,适应不同材料的测试要求。
4. **光学元件的集成**:探针台通常集成有高性能的光学元件,如透镜、滤光片和光源等,以提高光学测量的灵敏度和信噪比。
5. **图像采集与分析**:许多光学探针台具有图像采集功能,可以实时观察样品表面、形貌及其他特征,并与测量数据结合进行分析。
6. **模块化设计**:一些探针台是模块化的,可以根据实验需要进行升级和扩展,适应不同的研究需求。
7. **用户友好的操作界面**:现代的光学探针台通常配备友好的软件界面,使得用户可以轻松设置实验参数,进行数据采集和分析。
8. **适用性广**:广泛应用于半导体、材料科学、生物医学等领域,在基础研究和工业应用中都具有重要价值。
光学探针台因其高度和多功能性,被广泛用于科研与工业领域的光学测量与分析任务。
同轴真空馈通件广泛应用于许多领域,主要包括:
1. **微波通信**:在卫星通信、无线传输等领域中,用于传输信号。
2. **射频功率放大**:在射频(RF)放大器中,帮助传输和采集高功率信号。
3. **天线系统**:在天线和发射器中,用于信号传输。
4. **高能物理实验**:在粒子加速器等实验设备中,用于传输信号。
5. **实验室设备**:在实验室中用于设备的连接和信号传输。
6. **系统**:用于和民用系统中进行信号传递。
7. **设备**:在某些医学成像和设备中也会用到。
同轴真空馈通件的设计需要考虑频率范围、功率处理能力、插入损耗以及物理尺寸等因素,以确保其在特定应用中的性能和可靠性。
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