真空腔室Ф246×260mm，304优质不锈钢
分子泵国产FF-63/80分子泵
前级泵机械泵
真空规全量程真空规
蒸发源电阻蒸发源（兼容金属与**蒸发）3组，可切换使用
蒸发电源2000W直流蒸发电源1台，供3组蒸发源切换使用
控制系统PLC+触摸屏智能控制系统1套
冷水机LX-300
膜厚仪FTM-107A单探头
前级阀GDC-25b电磁挡板阀1套
充气阀Φ6mm，电磁截止阀1套
基片台可拆卸式60×60mm，具备水冷、旋转功能
真空管路波纹管、真空管道等1套
设备机架机电一体化
预留接口CF35一个
辅件备件CF35铜垫圈及氟密封圈全套等
电阻蒸镀机是一种用于薄膜沉积的设备，广泛应用于半导体、光电、光学薄膜等领域。其工作原理是通过将金属或其他材料加热至蒸发点，形成气相，然后在基材表面凝结形成薄膜。
电阻蒸镀机的主要组成部分包括：
1. **电阻加热元件**：通常采用镍铬合金或钨等材料，能在通电时产生高温，将待蒸镀的材料加热至蒸发。
2. **真空系统**：通过抽真空来降低气压，减少气体分子之间的碰撞，确保蒸发的材料能够有效沉积在基材表面。
3. **冷却系统**：用于冷却基材或其他组件，防止过热和确保沉积质量。
4. **控制系统**：用于监测和控制蒸镀过程中的参数，如温度、蒸发速率、沉积时间等。
电阻蒸镀的优点包括沉积速度快、膜层均匀、附着力好等，但也存在一些限制，如材料的选择限制、设备成本较高等。
在实际应用中，电阻蒸镀技术可以实现多种功能薄膜的制备，比如反射镜、抗反射涂层、导电膜等。
热蒸发镀膜机是一种常用于薄膜沉积的设备，其主要特点包括：
1. **高纯度镀膜**：由于采用高温加热源，能有效蒸发材料，沉积出的薄膜通常具有较高的纯度。
2. **良好的均匀性**：通过合理设计源与基片之间的距离，可以实现较均匀的膜层厚度。
3. **适用范围广**：可以用于多种材料的沉积，包括金属、半导体及一些绝缘材料。
4. **沉积速率可调**：通过调节加热温度和蒸发源的功率，可以实现不同沉积速率，满足不同应用需求。
5. **操作简便**：热蒸发镀膜机的操作相对简单，适合实验室及工业生产使用。
6. **适配性强**：可以与其他设备如真空系统、光学测厚仪等配合，提升沉积效果和膜层质量。
7. **成本效益高**：相较于其他镀膜技术，热蒸发镀膜机的设备投资和运行成本通常较低。
8. **膜层控制能力强**：可以通过调整蒸发时间和材料供应来实现膜厚的控制。
总的来说，热蒸发镀膜机以其优良的膜层质量和较为简单的操作，在科研和工业应用中广泛使用。
蒸发舟是一种常用于材料科学和薄膜制备的设备，特别是在物相沉积（PVD）技术中。蒸发舟的主要作用是通过加热将固态材料转化为气态，以实现薄膜的沉积。蒸发舟蒸发颗粒的特点主要包括以下几个方面：
1. **均匀性**：蒸发过程中，颗粒的蒸发速率较为均匀，能够在基底上形成均匀的薄膜。
2. **可控性**：通过调节加热温度和加热时间，可以控制蒸发速率，从而调节薄膜的厚度和组成。
3. **材料兼容性**：蒸发舟可以用于多种不同材料的蒸发，如金属、氧化物和高分子材料等，适应性较强。
4. **颗粒尺寸**：蒸发颗粒的尺寸通常较小，有助于加快蒸发速度，提升薄膜的沉积效率。
5. **高纯度**：蒸发舟中使用的材料一般要求高纯度，以确保终薄膜的性能和质量。
6. **热稳定性**：蒸发舟本身需要具备良好的热稳定性，以承受高温而不发生变形或熔化。
7. **气氛控制**：蒸发实验通常在真空或特定气氛中进行，以避免反应杂质的影响，确保颗粒的质量。
这些特点使得蒸发舟在真空蒸发和其他沉积技术中得到了广泛应用。
束源炉（或称束流反应堆）是一种利用粒子束产生高能粒子的设备，主要用于研究和应用于核物理、材料科学、医学等领域。其主要功能包括：
1. **粒子加速**：束源炉能够加速粒子到高能状态，为后续的实验提供足够的能量。
2. **粒子束应用**：通过产生高能粒子束，束源炉可以用于材料的改性、诊断以及产生放射性同位素。
3. **核反应研究**：支持核物理研究，例如基本粒子的相互作用、核结构和反应机制等。
4. **医学应用**：在放射和核医学中用于产生适用于的放射性同位素。
5. **探测**：用于开发和测试探测器及相关技术。
总结来说，束源炉是在科学研究和工业应用中重要的工具，具有多种功能。
桌面型热蒸发镀膜仪是一种用于薄膜沉积的设备，广泛应用于材料科学、光学、电子工程以及其他领域。其主要功能包括：
1. **薄膜沉积**：通过热蒸发的方法，将材料加热到其蒸发点，使其以蒸气形式喷发并在基材表面凝结形成薄膜。
2. **膜厚控制**：设备通常配备有膜厚监测系统（如晶体振荡器），可实时监测沉积膜的厚度，确保膜厚达到预期要求。
3. **材料选择**：可以使用多种材料进行沉积，如金属、氧化物、氮化物等，适应不同的应用需求。
4. **真空环境**：设备在高真空环境中操作，以减少气体分子对沉积薄膜的干扰，提高膜的质量。
5. **基材加热**：某些设备可以加热基材，提高材料的附着力和薄膜的均匀性，改善薄膜质量。
6. **多层沉积**：能够进行多层膜的沉积，适用于需要不同功能层叠加的应用。
7. **阀门控制和气体引入**：可以控制沉积环境中的气体成分，以便进行特定的化学反应或改善膜的性能。
8. **用户界面**：一般配备有友好的用户界面，方便操作人员设置参数、监控过程和记录数据。
这种设备通常适合实验室研究和小规模生产，因其体积小、操作简单而受到广泛欢迎。
蒸发舟（或称蒸发皿）是一种用于化学实验和工业生产中的器具，主要用于蒸发溶剂和浓缩溶液。蒸发舟蒸发颗粒适用范围一般包括：
1. **化学实验**：用于蒸发液体，浓缩溶液，分离化学物质。
2. **生物实验**：在生物样品处理中，常用于蒸发或浓缩生物样品中的溶剂。
3. **制药工业**：用于制备药物浓缩液，去除溶剂，生产药品原料。
4. **食品工业**：在浓缩果汁、调味品等生产中使用。
5. **材料科学**：用于涂层材料的制备，以及材料的合成过程。
6. **环境监测**：在水质分析中，用于浓缩水样中的污染物。
7. **纳米材料制备**：在纳米颗粒的制备过程中，常用于蒸发溶液形成固态颗粒。
在不同的应用中，根据具体需要选用合适材质和规格的蒸发舟，以确保实验的准确性和安全性。
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